Mikrostrukturierung durch Schleifen
Categories |
Konferenz (reviewed) |
Year | 2003 |
Authors | H.-W. Hoffmeister, M. Hlavac, H.H. Gatzen, C. Morsbach |
Published in | Mikromechanische Produktionstechnik, Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1012. Shaker, Aachen, S. 39-54 |