Tribology of Microsystems
Categories |
Zeitschriften/Aufsätze |
Year | 2006 |
Authors | R. Bandorf, R. Küster, C. Henke, H. Lüthje, J.-H. Sick, C. Neumeister, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer |
Published in | Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 12, No.7, pp. 680-684 |