Institute of Micro Production Technology Research Publications
Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Categories Konferenz (reviewed)
Year 2011
Authors J. Chen, C. Ruffert, L. Rissing
Published in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011