Institute of Micro Production Technology Research Publications
Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT

Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT

Categories Verschiedenes
Year 2023
Authors A. Buchta
Published in phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 38 / März 2023
Description

IMPT | Miniaturisierte Ionengetterpumpen für den Einsatz in kompakter und transportabler Quantenmesstechnik entwickeln Wissenschaftler:innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover derzeit in Kooperation mit der Firma LPKF.

DOI https://doi.org/10.48811/phi-23-001