Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT
Categories |
Verschiedenes |
Year | 2023 |
Authors | A. Buchta |
Published in | phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 38 / März 2023 |
Description
IMPT | Miniaturisierte Ionengetterpumpen für den Einsatz in kompakter und transportabler Quantenmesstechnik entwickeln Wissenschaftler:innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover derzeit in Kooperation mit der Firma LPKF.
DOI | https://doi.org/10.48811/phi-23-001 |