Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
Categories |
Verschiedenes |
Year | 2021 |
Authors | L. Steinhoff |
Published in | phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021 |
Description
Ein Informationstext über die Entwicklung eines Beschichtungsverfahrens für Aluminiumnitrid als Dünnfilm und deren möglichen Einsatzbereiche.