ResearchPublications
Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Categories Konferenz
Year 2021
Authors R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz
Published in NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium