Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage
Categories |
Konferenz |
Year | 2021 |
Authors | R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz |
Published in | NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium |