Mikro- und Nanotechnologie

Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und Anlagen, die der Herstellung von Mikrobauteilen in Dünnfilmtechnik dienen. Dabei stehen Technologien zur Fabrikation dieser Bauteile in einem als „Frontend Prozess“ bezeichneten Waferprozess im Mittelpunkt. Die Herstellung der Mikrobauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken in Verbindung mit Photolithographie.

• Grundlagen der Vakuumtechnik
• Beschichtungstechnik
  
  • Physikalische (Physical Vapor Deposition - PVD) und
    chemische (Chemical Vapor Deposition - CVD) Abscheidung von Filmen aus der
    Gasphase
  • Galvanische Verfahren
• Dotierung und Oberflächenumwandlung
• Ätztechnik
  
  • Nasschemisches Ätzen
  • Physikalisches, physikalisch-chemisches und chemisches Trockenätzen
• Fotolithografische Verfahren zur Strukturdefinition
• Fertigung im Reinraum