Sommersemester 2021 - Ankündigung
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Art der Veranstaltung | Vorlesung / Übung |
Niveaustufe | Grundstudium / Bachelor Hauptstudium / Master |
Semester | Wintersemester |
Creditpoints | 5 CP |
Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und Anlagen, die der Herstellung von Mikrobauteilen in Dünnfilmtechnik dienen. Dabei stehen Technologien zur Fabrikation dieser Bauteile in einem als „Frontend Prozess“ bezeichneten Waferprozess im Mittelpunkt. Die Herstellung der Mikrobauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken in Verbindung mit Photolithographie.