| Art der Veranstaltung | Vorlesung / Übung |
| Niveaustufe | Grundstudium / Bachelor Hauptstudium / Master |
| Semester | Sommersemester |
| Creditpoints | 5 CP |
Ziel der Lehrveranstaltung
In dieser Vorlesung werden die grundlegenden Fertigungsverfahren zur Herstellung und Charakterisierung von Nanostrukturen und Nanobauteilen vorgestellt. Hierbei werden neben Herstellungsverfahren von Nanopartikeln auch Strukturierungs- und Beschichtungsverfahren erläutert. Des Weiteren werden die wichtigsten Arten von Nanopartikeln und deren Anwendungsgebiete präsentiert.
Inhalt der Lehrveranstaltung
- Einführung in die Nanoproduktionstechnik
- Optische Lithografie
- Nichtoptische Lithografieverfahren
- Rastersondenverfahren
- Nanoprägelithografie
- Beschichtungstechnik
- Neue Verfahren zur Herstellung optischer Elemente
- Kohlenstoffnanoröhrchen
- Nanopartikelherstellung
- Nanodrähte und Quantenpunkte
- Analyseverfahren
Sommersemester 2025
| Anmeldung und Termine | digital in StudIP |
| Zeitraum zur Prüfungsanmeldung | 15.05. - 31.05.2025 |
| Prüfungstermin | 23.07.2025 |
| Skript | auf StudIP |
