| Art der Veranstaltung | Labor |
| Niveaustufe | Grundstudium / Bachelor |
| Semester | Sommer- und Wintersemester |
Beschreibung der Lehrveranstaltung
Das IMPT bietet den Versuch "Untersuchung des Galvanischen Abscheideprozesses" im Rahmen der Kleinen Laborarbeit (ehem. AML) an. Im Rahmen dieses Versuches wird ein Wafer galvanisch strukturiert. Anhand der Abscheidungsparameter wird die theoretische Schichthöhe bestimmt und über taktile Messdaten mit der tatsächlichen Schichthöhe zu vergleichen. Ferner gilt es die Schichtdickenverteilung über der Waferoberfläche zu beurteilen.
Wintersemester 2025/26
| Anmeldung | 13. - 17. Oktober 2025 (digital in StudIP) |
| Gruppenliste und Versuchsplanung | 24. Oktober 2025 (Infos in StudIP) |
| Versuchszeitraum | 03. November 2025 - 31. Januar 2026 |
| Skript | ab 20. Oktober auf StudIP |
