Publikationen – Institut für Mikroproduktionstechnik

2025

Developments for quantum inertial navigation systems employing Bose–Einstein condensates. / Gersemann, M.; Rajagopalan, A.; Abidi, M. et al.
in: Applied physics reviews, Jahrgang 12, Nr. 3, 031306, 09.2025.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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The Surface-Topography Challenge: A Multi-Laboratory Benchmark Study to Advance the Characterization of Topography. / Pradhan, A.; Müser, M. H.; Miller, N. et al.
in: Tribology letters, Jahrgang 73, Nr. 3, 110, 09.2025.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Location- and time-resolved strain measurement in thrust roller bearings using thin-film sensors. / Konopka, Dennis; Steppeler, Tobias; Ottermann, Rico et al.
in: Forschung im Ingenieurwesen/Engineering Research, Jahrgang 89, Nr. 1, 83, 01.08.2025.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Diamond Coating of Diced Si Field Emitters for Enhanced Field Emission Performance. / Buchta, Aleksandra Monika; Thomas, Evan Lloyd Hunter; Kassner, Alexander et al.
2025 38th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2025. 2025.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Lithography-Free Anisotropic Magnetoresistance Sensor-Based Rotational Speed Measurement System on PEEK with Integrated Electronics. / Bierwirth, Tim Nils; Bengsch, Sebastian; Fischer, Eike Christian et al.
Proceedings - IEEE 75th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2025. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2025. S. 1981-1985 (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Development of a Transformer-Based Inductive Sensor for Monitoring Deep Drawing Processes. / Kamrani, Sara; Ottermann, Rico; Kalkert, Peter et al.
in: Sensing and Imaging, Jahrgang 26, Nr. 1, 44, 09.04.2025.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Miniaturized 3D Glass Package for High-Efficiency and High-Power Density 48V DC-DC Converters. / Koch, Jannik; Winkler, Joseph; Wicht, Bernhard et al.
2025 IEEE International Workshop on Integrated Power Packaging (IWIPP). 2025. Aufl. 2025. (Proceedings of the IEEE International Workshop on Integrated Power Packaging, IWIPP).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Automatic active alignment of substrate-free thin-film filters on a photonic platform using single photon detectors. / Gehrke, P.; Rüsseler, A. K.; Matthes, J. et al.
Integrated Optics: Devices, Materials, and Technologies XXIX. Hrsg. / Sonia M. Garcia-Blanco; Pavel Cheben. SPIE, 2025. 133690Z (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Band 13369).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Nur einen Quantensprung von der Zukunft entfernt: das IMPT und QVLS. / Keinert, Lauritz; Koch, Jannik.
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Jahrgang 46, 04.02.2025.

Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in Publikumszeitung/-zeitschrift › Kommunikation

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High-Sensitive Chromium Strain Gauges on Steel Surfaces. / Ottermann, Rico; Steppeler, Tobias; Wurz, Marc.
2025. 89-90 Beitrag in Sensor and Measurement Science International (SMSI 2025), Nürnberg, Bayern, Deutschland.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung

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Thin-film sensors on thrust bearing washers for temperature measurement directly in the mechanical rolling contact. / Steppeler, Tobias; Konopka, Dennis; Ottermann, Rico et al.
2025. 205 - 206.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung

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2024

Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges for Force Measurement at Guide Carriages. / Ottermann, Rico; Kowalke, Dennis; Denkena, Berend et al.
in: IEEE sensors journal, Jahrgang 24, Nr. 24, 15.12.2024, S. 40471-40484.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Propriozeption in der Soft Robotics. / Müller, E.; Cao, B.; Peters, J. et al.
in: WT Werkstattstechnik, Jahrgang 114, Nr. 11-12, 11.12.2024, S. 735-740.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Laser Direct Structuring of Millable BN‐AlN Ceramic for Three‐Dimensional (3D) Components. / Raumel, Selina; Xiao, Xiao; Bengsch, Sebastian et al.
in: Advanced engineering materials, Jahrgang 26, Nr. 23, 2401271, 04.12.2024.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Simulation of Corrosion Effects in Conductive Yarns. / Weide-Zaage, Kisten; Ma, Xiaoli; Poepsel, Frederik et al.
2024 International Conference on the Challenges, Opportunities, Innovations and Applications in Electronic Textiles (E-Textiles). Berlin, 2024. S. 307-311.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Compensation of strain gauge signal changes due to position-based internal changes in sensory linear guides. / Denkena, Berend; Buhl, Henning; Kowalke, Dennis et al.
ICPE2024: The 20th International Conference on Precision Engineering. 2024.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Polymer-Free Batch Production and Application of Metal Foil-Based Thin-Film Strain Gauges. / Ottermann, Rico; Müller, Eileen; Keßler, Marvin et al.
2024 IEEE Sensors, SENSORS 2024 - Conference Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2024. (Proceedings of IEEE Sensors).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Waveguides Written by Femtosecond Laser in CVD Diamonds. / Perevoznik, D.; Locmelis, J.; Zuber, D. et al.
in: EPJ Web of Conferences, Jahrgang 307, 02034, 18.10.2024.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

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Design of a smart test rig demonstrator combining novel sensor-integrating machine elements. / Konopka, Dennis; Steppeler, Tobias; Ottermann, Rico et al.
2024.

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

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MuTige Projekte statt Unterricht: Jetzt anmelden für „Mädchen und Technik“! / Müller, Eileen.
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, 30.07.2024.

Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer

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Miniaturized Rubidium Source for Generating Vapor Phase Atoms for Magneto Optical Traps. / Koch, Jannik; Diekmann, Leonard Frank; Kassner, Alexander et al.
2024 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2024. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2024. (International Vacuum Nanoelectronics Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Design and Manufacture of Face Grinding Wheels with Micro-Structured Channels. / Steinhoff, Lukas; Tubbe, Emma; Dencker, Folke et al.
24th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2024. Proceedings. euspen, 2024.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Entwicklung einer Messelektronik zur Zustandsüberwachung von Wälzlagern mittels Integration von Dünnfilmsensoren. / Steppeler, Tobias; Siemßen, Hendrik; Ottermann, Rico et al.
2024.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung

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A Review on Sensor-Integrating Machine Elements. / Kirchner, Eckhard; Wallmersperger, Thomas; Gwosch, Thomas et al.
in: Advanced Sensor Research, Jahrgang 3, Nr. 4, 2300113, 11.04.2024.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Field emission current-voltage characteristics of field emitters fabricated by wafer dicing. / Buchta, Aleksandra Monika; Kassner, Alexander; Dencker, Folke et al.
Book of abstracts for the EQTC 2023. Hrsg. / Axel Schnitger; Rebecca Hausemann; Tara Liebisch. Hannover, 2024. S. 93.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Abstract in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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IMPT entwickelt Transformatoren auf Kunststoffbasis für Elektroautos. / Bierwirth, Tim Nils.
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Nr. 42, 11.03.2024.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung

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Modification of glass by a laser for the use in micro-electric systems and quantum devices. / Keinert, Lauritz; Koch, Jannik (Mitwirkende*r); Künzler, Christoph (Mitwirkende*r) et al.
Book of abstracts for the EQTC 2023. Hrsg. / Axel Schnitger; Rebecca Husemann; Tara Liebisch. Hannover: Institutionelles Repositorium Leibniz Universität Hannover, 2024. S. 91.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Abstract in Konferenzband › Forschung

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Integrated multimode optical waveguides in glass using laser induced deep etching. / Reitz, Birger; Evertz, Andreas; Basten, Robin et al.
in: Applied optics, Jahrgang 63, Nr. 4, 01.02.2024, S. 895-903.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Detection of temperature in frictional contact by means of component-inherent sensors for enhanced wear prediction. / Raumel, Selina.
Garbsen: TEWISS Verlag, 2024. 170 S.

Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation

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Entwicklung eines mehrschichtigen Atomchip-Systems mit integrierter Temperatur-Sensorik für den Einsatz unter Weltraumbedingungen. / Kassner, Alexander.
Garbsen: TEWISS Verlag, 2024. 149 S.

Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation

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Femtosecond Laser Written Waveguides in CVD Diamonds. / Perevoznik, D.; Locmelis, J.; Zuber, D. et al.
2024. Beitrag in 2024 Conference on Lasers and Electro-Optics/Pacific Rim, CLEO-PR 2024, Incheon, Südkorea.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung › Peer-Review

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Glass-Extraction Electrode for Field Emission Applications. / Buchta, Aleksandra M.; Kassner, Alexander; Dencker, Folke et al.
2024 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC). 2024. (International Vacuum Nanoelectronics Conference proceedings).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Manufacturing and Characterization of Planar Transformers as Molded Interconnect Device Technology Component for an Industrial Production. / Bierwirth, Tim Nils; Bengsch, Sebastian; Werner, Michael et al.
Proceedings - IEEE 74th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2024. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2024. S. 2172-2177 (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Push-Button Rotational Energy Harvester for Wireless Sensor Nodes. / Adamscheck, Marco; Wurz, Marc Christopher; Klaas, Daniel.
EASS 2024: Energieautonome Sensorsysteme 2024 - 12. GMM-Fachtagung. VDE Verlag GmbH, 2024. S. 57-59 (GMM-Fachberichte; Band 109).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Silicon-based membrane pressure sensor for inline monitoring of pressure and hermeticity of small-volume bonded packages. / Koch, Jannik; Brinkmann, Levin Marten; Kassner, Alexander et al.
2024 IEEE 74th Electronic Components and Technology Conference : (ECTC). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2024. S. 193-200 (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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2023

Manufacturing of a Reluctance Actuator for Use as a Hearing Implant in the Middle Ear. / Müller, Eileen; Adamscheck, Marco; Fischer, Eike Christian et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen: Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. Berlin: VDE Verlag GmbH, 2023. S. 89-92.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Sensoren richtig positioniert. / Denkena, Berend; Klemme, Heinrich; Kowalke, Dennis et al.
in: Konstruktion und Entwicklung, Jahrgang 2023, Nr. 6, 07.11.2023, S. 42-45.

Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer

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Laser-assisted bonding between silicon and glass for the production of hermetic packages. / Koch, Jannik.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. 2023. S. 332-335.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Direct-Deposited Thin-film Strain Gauges for High-temperature Applications. / Ottermann, Rico; Kyoushi, Niklas; Wurz, Marc.
MikroSystemTechnik Kongress 2023: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat. 2023.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

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Fabrication Method and Characterization of Molded Interconnect Device Micro Transformer in Planar Form by Embedding Sintered Ferrite Cores. / Bierwirth, Tim N.; Fischer, Eike C.; Prediger, Maren S. et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 599-604.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

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Detailed characterisation of batch-manufactured flexible micro-grinding tools for electrochemical assisted grinding of copper surfaces. / Steinhoff, Lukas; Ottermann, Rico; Dencker, Folke et al.
in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Jahrgang 128, Nr. 5-6, 09.2023, S. 2301-2310.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Direct Sensor Integration on the Raceway of Roller Bearings. / Pape, Florian; Konopka, Dennis; Coors, Timm et al.
Gesellschaft für Tribologie e.V. (GfT), 2023. 9 S.

Publikation: Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Konferenzband › Forschung

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Mädchen und Technik: Seid MuTig und erlebt Technik hautnah! / Müller, Eileen; Ottermann, Rico.
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, 01.08.2023.

Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer

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Characterization of the tribologically relevant cover layers formed on copper in oxygen and oxygen-free conditions. / Raumel, Selina; Barienti, Khemais; Luu, Hoang Thien et al.
in: Friction, Jahrgang 11, Nr. 8, 08.2023, S. 1505–1521.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Novel Glass-Silicon Emitter Chip for Field Emission Applications. / Buchta, Aleksandra M.; Kassner, Alexander; Voß, Julia et al.
2023 IEEE 36th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC). IEEE, 2023. S. 207-209 ( International Vacuum Nanoelectronics Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Micro-integrated optical systems and qualification of adhesive integration technologies for cold atomic quantum sensors. / Christ, M.; Stiekel, A.; Stölmacker, C. et al.
International Conference on Space Optics, ICSO 2022. Hrsg. / Kyriaki Minoglou; Nikos Karafolas; Bruno Cugny. SPIE, 2023. 1277718 (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Band 12777).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Enhanced findability and reusability of engineering data by contextual metadata. / Altun, Osman; Oladazimi, Pooya; Wawer, Max Leo et al.
in: Proceedings of the Design Society, Jahrgang 3, 19.06.2023, S. 1635-1644.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

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Soliton compression and supercontinuum spectra in nonlinear diamond photonics. / Melchert, O.; Kinnewig, S.; Dencker, F. et al.
in: Diamond and Related Materials, Jahrgang 136, 109939, 06.2023.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Influence of Microscale Tin Particles on Mechanical Properties of Silver Sintering Joints with Reduced Processing Parameters. / Hadeler, Steffen; Long, Yangyang; Ottermann, Rico et al.
2023 IEEE 73rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC): Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2023. S. 676-681 (Proceedings - Electronic Components Conference).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Application of batch manufactured flexible micro-grinding tools on copper and oxidized copper surfaces. / Steinhoff, Lukas; Dencker, Folke; Wurz, Marc Christopher.
in: Tribologie und Schmierungstechnik, Jahrgang 70, Nr. 1, 27.03.2023, S. 5-10.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Detection of joining mechanisms at different locations of the wire/substrate interface during ultrasonic wire bonding via a PZT-based sensor array. / Long, Yangyang; Arndt, Matthias; Sun, Chen et al.
in: Journal of Materials Processing Technology, Jahrgang 312, 117826, 03.2023.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Process Development for Batch Production of Micro-Milling Tools Made of Silicon Carbide by Means of the Dry Etching Process. / Wittek, Christian-G R.; Steinhoff, Lukas; Raumel, Selina et al.
in: Micromachines, Jahrgang 14, Nr. 3, 580, 28.02.2023.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

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Monitoring of the Flange Draw-In During Deep Drawing Processes Using a Thin-Film Inductive Sensor. / Fünfkirchler, T.; Arndt, M.; Hübner, S. et al.
Lecture Notes in Production Engineering. Springer Nature, 2023. S. 111-121 (Lecture Notes in Production Engineering; Band Part F1163).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Beitrag in Buch/Sammelwerk › Forschung › Peer-Review

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Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT. / Buchta, Aleksandra Monika.
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Nr. 38, 01.02.2023.

Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer

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Advancements in monitoring of tribological stress in bearings using thin-film strain gauges. / Konopka, Dennis; Steppeler, Tobias; Ottermann, Rico et al.
2023. 1623-1634 Beitrag in 10th ECCOMAS Thematic Conference on Smart Structures and Materials.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung › Peer-Review

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Development and Characterization of transferable Thin Film Sensor Technology on Carbon Fibre reinforced Plastics. / Hadeler, Steffen; Vogt, Fabian; Wurz, Marc Christopher.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 113-116.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Development of a device for the determination of local magnetic properties of thin films on whole wafers. / Fischer, Eike Christian.
Hannover: Leibniz Universität Hannover, 2023. 143 S.

Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation

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Force sensing linear rolling guides based on modified metal strain gauges. / Denkena, Berend; Klemme, Heinrich; Kowalke, Dennis et al.
European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 23rd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2023. Hrsg. / O. Riemer; C. Nisbet; D. Phillips. euspen, 2023. S. 207-210 (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 23rd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2023).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Influence of oxide layers on the mechanical properties of copper. / Raumel, Selina; Wolf, Anna-Marleen; Dencker, Folke et al.
Tagungsband, 5. Symposium Materialtechnik : Fortschrittbericht der Materialforschung und Werkstofftechnik . Clausthaler Zentrum für Materialtechnik, 2023. S. 149-159 (Fortschrittsberichte der Materialforschung und Werkstofftechnik; Band 12).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Integration of film-based sensor technology in additively manufactured components. / Basten, Robin G.; Bengsch, Sebastian; Wurz, Marc C.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 154-161.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Manufacture and application of a sensor inlet for high-temperature measurements in the frictional zone of an extrusion die. / Raumel, Selina; Moradi, Amirreza; Wurz, Marc C.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 672-675.

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Manufacturing and Characterization of Piezoelectric Force Sensor Arrays for Investigation of Ultrasonic Wire Bonding. / Arndt, Matthias; Long, Yangyang; Hu, Chengyan et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 462-465.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Measurement of the Ultrasound Induced Temperature Change in an Ultrasonic Assisted Silver Sintering Process. / Hadeler, Steffen; Long, Yangyang; Twiefel, Jens et al.
IEEE Sensors 2023 Conference Proceedings. IEEE, 2023. (Proceedings of IEEE Sensors).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Microtechnological Production of Integrated Optical Gratings Using Laser Beam Lithography for Atomic Interferometers. / de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke et al.
Tagungsband MikroSystemTechnik Kongress 2023. 2023.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

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Miniaturized quantum systems for inertial measurement units. / Kassner, A.; Diekmann, L.; Künzler, C. et al.
2023 DGON Inertial Sensors and Systems (ISS). Hrsg. / Peter Hecker. IEEE, 2023. (International Symposium on Inertial Sensors and Systems).

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Oxygen-free resistance heating with nitrogen and silane as an energy-efficient heating process for hot stamping. / Behrens, Bernd-Arno; Hübner, Sven; Holländer, Ulrich et al.
in: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, Jahrgang 1284, 012007, 2023.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

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Performance Comparison of MR Sensors on Silicon and Bare PEEK (Polyether Ether Ketone) Wafers. / de Wall, Sascha; Bierwirth, Tim Nils; Wurz, Marc et al.
2023. Postersitzung präsentiert bei MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, Sachsen, Deutschland.

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

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Physical Sensors: Magnetic Sensors. / Prediger, Maren Susanne; Wurz, Marc.
Encyclopedia of Sensors and Biosensors. Band 1 Elsevier Inc., 2023. S. 97-110.

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Sensor Inserts on Spherical Surfaces for Temperature Measurement in Wear Contacts. / Raumel, Selina; Wurz, Marc Christopher.
2023 IEEE SENSORS. IEEE, 2023. S. 1-4 (Proceedings of IEEE Sensors).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Setup of an ultra-high vacuum bonder for the encapsulation of quantum systems. / Droese, Niklas; Petring, Julian; Hadeler, Steffen et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 763-766.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

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Simulation-based Design of a Magnetostrictive Middle Ear Actuator. / Adamscheck, Marco; Fischer, Eike; Müller, Eileen et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 503-508.

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Simulation, Manufacturing and Evaluation of a Transformer Eddy-Current Sensor for Deep-Drawing Processes. / Kamrani, Sara; Ottermann, Rico; Dencker, Folke et al.
SMSI 2023. AMA Association for Sensors and Measurement , 2023. S. 284 -285.

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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed)

L. Diekmann, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz (2022): Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina, Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI: 10.1116/6.0001991
M. Arndt, F. Dencker, M. Wurz, Y. Long, J. Twiefel (2022): Detection of joining mechanisms at different locations of the wire/substrate interface during ultrasonic wire bonding via a PZT-based sensor array, Journal of Materials Processing Technology
DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2022.117826
M. Rodriguez Diaz; S. Raumel; M. C. Wurz; M. Szafarska; R. Gustus; K. Möhwald; H. J. Maier (2022): Young’s modulus and residual stresses of oxide-free wire arc sprayed copper coatings, Coatings 2022, 12(10), 1482
DOI: https://doi.org/10.3390/coatings12101482
O. Melchert, F. Dencker, M. Wurz, A. Demircan, U. Morgner, M. Kues (2022): Soliton compression and supercontinuum spectra in nonlinear diamond photonics, Diamond & Related Materials
DOI: https://doi.org/10.48550/arXiv.2211.00492
R. Ottermann; T. Steppeler; F. Dencker; M. Wurz (2022): Degeneration Effects of Thin-Film Sensors after Critical Load Conditions of Machine Components, Machines 2022, 10, 870
DOI: https://doi.org/10.3390/machines10100870
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DOI: https://doi.org/10.1007/s11340-022-00822-0
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DOI: 10.1109/TIA.2019.2921523
H. C. Janßen, D. P. Warwas, D. Dahlhaus, J. Meißner, P. Taptimthong, M. Kietzmann, P. Behrens, J. Reifenrath, N. Angrisani (2018): In Vitro and in vivo accumulation of magnetic nanoporous silica nanoparticles on implant materials with different magnetic properties, Journal of Nanobiotechnology 16
DOI: https://doi.org/10.1186/s12951-018-0422-6
Long Y, Dencker F, Isaak A, Hermsdorf J, Wurz MC, Twiefel J (2018): Self-Cleaning Mechanisms in Ultrasonic Bonding of Al Wire, Journal of Materials Processing Technology, Vol 258 Weitere Informationen
DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2018.03.016
Long Y, Dencker F, Isaak A, Li C, Schneider F, Hermsdorf J, Wurz MC, Twiefel J, Wallaschek J (2018): Revealing of ultrasonic wire bonding mechanisms via metal-glass bonding, Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology, Vol 236-237
DOI: 10.1016/j.mseb.2018.11.010
Mishin M, Vorobyev A, Kondrateva A, Koroleva E, Karaseov P, Bespalova P, Shakhmin A, Glukhovskoy A, Wurz MC, Filimonov A (2018): The Mechanism of Charge Carrier Generation at the ТiO2 - n-Si Heterojunction Activated by Gold Nanoparticles, Semiconductor Science and Technology, Vol 37(7)
DOI: 10.1088/1361-6641/aac4f3
Schmelt AS, Hofmann V, Fischer EC, Wurz MC, Twiefel J (2018): Design and Characterization of the Lateral Actuator of a Bimodal Tactile Display With Two Excitation Directions, Displays, Vol 54
DOI: 10.1016/j.displa.2018.09.002
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Dencker F, Dreyer L, Müller D, Zernetsch H, Paasche G, Sindelar R, Glasmacher B (2017): A silicone fiber coating as approach for the reduction of fibroblast growth on implant electrodes, Journal of Biomedical Materials Research - Part B Applied Biomaterials, Vol 105(8), 2017
DOI: 10.1002/jbm.b.33798
Dinulovic D, Shousha M, Haug M, Beringer S, Wurz MC (2017): Comparative Study of Microfabricated Inductors/Transformers for High-Frequency Power Applications, IEEE Transactions on Magnetics (Volume: 53, Issue: 11, Nov. 2017) Weitere Informationen
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Hoff C, Venkatesh A, Schneider F, Hermsdorf J, Bengsch S, Wurz MC, Kaierle S, Overmeyer L (2017): Chip-Bonding of Low-melting Eutectic Alloys on Flexible Substrates by Transmitted Laser Radiation, Advanced Optical Technologies, 2017; Vol. 6 (3-4) Weitere Informationen
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van Drunen WJ, Lachheb SK, Glukhovskoy A, Twiefel J, Wurz MC, Lenarz T, Rau TS, Majdani O (2017): Investigation of intracochlear dual actuator stimulation in a scaled test rig, Current Directions in Biomedical Engineering, Vol 3(2)
DOI: 10.1515/cdbme-2017-0024
van Drunen WJ, Mueller M, Glukhovskoy A, Salcher R, Wurz MC, Lenarz T, Maier H (2017): Feasibility of Round Window Stimulation by a Novel Electromagnetic Microactuator, BioMed Research International, Vol 2017
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B. F. O. Costa BFO, Lehmann R, Wengerowsky D, Blumers M, Sansano A, Rull F, Schmidt H-J, Dencker F, Niebur A, Klingelhöfer G, Sindelar R, Renz F (2016): Klimt artwork (Part II): material investigation by backscattering Fe-57 Mössbauer- and Raman- spectroscopy, SEM and p-XRF, Hyperfine Interactions, Vol 237(1), 2016 Weitere Informationen
DOI: 10.1007/s10751-016-1263-z
Johannes Rittinger, Piriya Taptimthong, Lisa Jogschies, Marc C. Wurz, Lutz Rissing (2016): Magnetic microstructure analysis of sputter deposited permalloy thin films on a spin-on polyimide substrate, Microsystem Technologies: 1-6.
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M. Akin, L. Rissing, V. Brokbals (2016): Flip and Fuse: A New Technique for Diffusive Coating of Organic, Flexible and Low Transition Temperature Substrates with Inorganic Materials in Roll-to-Roll Processes at Ambient Conditions, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology
DOI: 10.1109/TCPMT.2016.2580758
M. Akin, M. Rezem, M. Rahlves, K. Cromwell, B. Roth, E. Reithmeier, M. Wurz, L. Rissing, H.-J. Maier (2016): Direct hot embossing of micro-elements by means of photostructurable polyimide, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3)
M. Akin, M. Steggeman, L. Rissing (2016): Paper-based magnetics: Matching paper with permalloy, Springer Cellulose
DOI: 10.1007/s10570-016-1019-6
T. Vergentev, A. Banshchikov, A. V. Filimonov, E. Y. Koroleva, N. Sokolov, M. Wurz (2016): Longitudinal conductivity of LaF3/SrF2 multilayer heterostructures, Science and Technology of Advanced Materials
DOI: https://doi.org/10.1080/14686996.2016.1246940
A. Wienecke, R. Kruppe, L. Rissing (2015): Influence of Growth Conditions on Exchange Bias of NiMn-based Spin Valves, Journal of Applied Physics, 117, 17C108
DOI: 10.1063/1.4907231
L. Jogschies, D. Klaas, R. Kruppe, J. Rittinger, P. Taptimthong, A. Wienecke, L. Rissing, M. C. Wurz (2015): Recent Developments of Magnetoresistive Sensors for Industrial Applications, Sensors, 15(11), 28665-28689
M. Wurz (2015): Research Activities in the Field of Electromagnetic Energy Harvesting Micro Systems, ECS Trans 64 21
DOI: https://doi.org/10.1149/06431.0021ecst
Meriem Akin, Sonda Moakhar Ep Bouguecha, Juergen Becker, Lutz Rissing (2015): Eutectic bonding of integrated circuits onto polycarbonate and poly(methyl methacrylate) by means of indium-tin and indium-bismuth, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology
DOI: 10.1109/TCPMT.2015.2420531
T. Geipel, L. C. Rendler, M. Stompe, U.h Eitner, L. Rissing (2015): Reduction of Thermomechanical Stress Using Electrically Conductive Adhesives, Energy Procedia, Volume 77, August 2015, Pages 346-355, ISSN 1876-6102
DOI: 10.1016/j.egypro.2015.07.049
D. Dinulovic, M. Kaiser, A. Gerfer, O. Opitz, M.C. Wurz, L. Rissing (2014): Microtransformer with Closed Fe-Co Magnetic Core for High Frequency Power Applications, Journal of Applied Physics 115, 17A317
DOI: 10.1063/1.4863930
D. Dinulovic, M. Kaiser, A. Gerfer, O. Opitz, M.C. Wurz, L. Rissing (2014): Thin-film Microtransformer for High Frequency Power Applications, AIP Journal of Applied Physics 115, 17A317
DOI: 10.1063/1.4863930
P. von Witzendorff, M. Stompe, A. Moalem, S. Cvetkovic, U. Stute, L. Overmeyer, L. Rissing (2014): Dicing of Hard and Brittle Materials with On-Machine Laser-Dressed Metal-Bonded Diamond Blades, Precision Engineering Journal, Vol. 38, Issue 1, pp. 162–167
DOI: 10.1016/j.precisioneng.2013.08.007
C. Ruffert, Q. Ramadan, M.A.M. Gijs (2013): Fabrication of a High Aspect Ratio (HAR) Micropillar Filter for a Magnetic Bead-based Immunoassay, Microsystem Technologies, Springer Verlag, Heidelberg, Germany
DOI: 10.1007/s00542-013-1964-z
D. Hoheisel, C. Kelb, M. Wall, B. Roth, L. Rissing (2013): Fabrication of Adhesive Lenses Using Free Surface Shaping, J. Europ. Opt. Soc. Rap. Public., Vol. 8, 13065
Q. Ramadan, H. Jafarpoorchekab, Ch. Huang, P. Silacci, S. Carrara, G. Koklü, J. Ghaye, J. Ramsden, C. Ruffert, G. Vergeres, M.A.M. Gijs (2013): NutriChip: nutrition analysis meets microfluidics, Lab on a Chip, Vol. 13, pp. 196-203
T. Creutzburg, L. Rissing, T. Lenarz, G. Reuter (2012): Design and Fabrication of a Microactuator for a Hearing Aid, Int. Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics, Vol. 39, pp. 471-477
T. Griesbach, M. Wurz, L. Rissing (2012): Development, fabrication, and test of a modular eddy current micro sensor on a flexible polymer foil, Product Engineering Research and Development
DOI: DOI 10.1007/s11740-012-0415-5
T. Schultheis, D. Hoheisel, W. Xiao, L. Spani Molella, E. Reithmeier, L. Rissing, S. Hardt (2012): Performance of an Adaptive Liquid Microlens Controlled by a Microcoil Actuator, Microfluidics and Nanofluidics, Springer Verlag, Vol. 13, Issue 2, pp 299-308
DOI: 10.1007/s10404-012-0961-3

Beiträge in Büchern (reviewed)

Hans H. Gatzen (2013): (Invited) Magnetic Micro and Nano Actuator Systems, Magnetic Materials, Processes, and Devices 12, ECS Transactions Volume 50, Issue 10, The Electrochemical Society, Pennington, NJ, USA
DOI: 10.1149/05010.0119ecst
A. Belski, M. C. Wurz, L. Rissing (2011): Readout of Magnetic Tracks using Soft Magnetic Material, Abstracts Book, SMM 2011, Kos Island, Greece, p. 481
D. Miletic, S. Cvetkovic, L. Rissing (2011): Strukturabhängige Adaption von Waferhalter und Polierscheibe beim Chemisch-Mechanischen Polieren (CMP) von MEMS zur Verbesserung der globalen Planarität, 65. Ausgabe Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren (SHLP), Vulkan Verlag,Essen, Kap. 3, S. 343-358
H. H. Gatzen (2011): (Invited) Active Magnetic Micro and Nano Electro-Mechnical Systems (MNEMS), Magnetic Materials Processes and Devices 11. ECS Transactions, Volume 33, Issue 34, The Electrochemical Society, Pennington, NJ, USA
DOI: 10.1149/1.3573588
S. Cvetkovic, M. Stompe, L. Rissing (2011): Ultrapräzisionstrennschleifen von Mikrosystemen, wt Werkstattstechnik online, Springer-VDI-Verlag, Jahrgang 101 (2011) H.11/12, S.753-757

Beiträge zu Sammlungen

M. Wurz, M. S. Prediger (2021): Physical Sensors: Magnetic Sensors, Reference Module in Biomedical Sciences
DOI: https://doi.org/10.1016/B978-0-12-822548-6.00054-6
L. Rissing, M. C. Wurz, M. Stompe (2016): Präzisionsbearbeitung endkonturnaher Keramik im ungesinterten Zustand, Beitrag für 67. Ausgabe Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, 2016
E. Asadi, A. Bouabid, M. C. Wurz, T. Grove, Be. Denkena, L. Rissing (2015): Neuartige Herangehensweise für eine Batchproduktion keramischer Mikrofräswerkzeuge., Diamond Business – Ausgabe 3.2015, S. 12-16, 2015

Bücher

Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold (2015): Micro and Nano Fabrication - Tools and Processes, Springer Berlin Heidelberg
S. Krongelb, C. Bonhôte, S. R. Brankovic, H. H. Gatzen, P. J. Hesketh, Y. Kitamoto, T. Osaka, W. Schwarzacher, G. Zangari (Editors) (2013): Magnetic Materials Processes and Devices 12. ECS Transactions, Volume 50, Issue 10, The Electrochemical Society, Pennington, NJ, USA
S. Krongelb, S. R. Brankovic, Y. Kitamoto, W. Schwarzacher, C. Bonhôte, H. H. Gatzen, T. Osaka, G. Zangar (Editors) (2011): Magnetic Materials Processes and Devices 11. ECS Transactions, Volume 33, Issue 34, The Electrochemical Society, Pennington, NJ, USA
H.H. Gatzen (1999): Mikrobearbeitung sprödharter Keramikwerkstoffe mittels Trenn- und Profilschleifen, 59. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, Germany, pp. 190-204
H.H. Gatzen (1999): Thin Film Head Technologies in MEMS Applications Fabrication of a Dual Stripe MR-Sensor, Proximity, Magnetic Storage Industry Source Book, Balzers Publication, pp. 34-35
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig (1995): Ultrapräzisionsbearbeitung von technischen Keramiken mittels Nanoschleifen, 58. Jahrbuch, Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan-Verlag, Essen, Deutschland, pp. 227-241
H.H. Gatzen, M. Smallen, P.T. Tedrow (1987): Head-Media Wear in Rigid Disc Drives, Society of Tribologists and Lubrication Engineers, Tribology and Mechanics of Magnetic Storage Systems, Park Ridge, Illinois, USA, Vol. 4, pp. 116-122

Beiträge in Büchern

L. Rissing, U. Stute, M. Stompe, S. Cvetkovic, P. von Witzendorff (2013): Schleifscheibenkonditionierung mittels Laserstrahlung und kontaktlose Werkzeugüberwachung für die Ultrapräzisionsbearbeitung von spröd-harten Materialien, Beitrag für 66. Ausgabe Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, 2013 (erschienen Nov. 13)
ISBN: 9783802729713
Wurz, M. C., Ruffert, C., Rissing, L. (2011): Lehrbuch Mikrotechnologie : für Ausbildung, Studium und Weiterbildung (Kapitel 12: Ätzprozesse), Fachbuchverlag Leipzig im Carl-Hanser-Verlag, München
ISBN: 978-3-446-42560-6
C. Ruffert, H. Saalfeld, H.H. Gatzen (2010): , Buchbeitrag PARMA – Slider with Integrated Microactuator (SLIM) for Second Stage Actuation in Hard Disk Drives. pp. 423-440
F. Pape, C. Ruffert, O. Traisigkhachol. A. Waldschick, M. Feldmann, T. Kohlmeier, V. Seidemann, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen (2010): , SFB 516 Buchbeitrag B7 - Fabrication of Excitation Coils for Electromagnetic Micro Actuators. pp.189-206
J. Chen, M. Bedenbecker, T. Budde, M. Föhse, C. Ruffert, R. Bandorf, M. Balke, H. Lüthje, B. Majjer, G. Bräuer, H.H. Gatzen (2010): , SFB 516 Buchbeitrag B1 – Fabrication of Magnetic Layers for Electromagnetic Microactuators. pp. 167-188
R. Bandorf, D. Paulkowski, F. Pape, H.H. Gatzen, G. Bräuer (2010): , SFB 516 Buchbeitrag C1 R – Wear Behaiour in Microactuator Interfaces. pp. 69-88
S. Hansen, M. Hahn, M. Föhse, H.H. Gatzen (2010): , SFB 516 Buchbeitrag A1 – Development and Fabrication of Linear and Multi-Axis Microactuators. pp. 225-244
A. Waldschik, M. Feldmann, F. Pape, C. Ruffert, H.H. Gatzen, S. Büttgenbach (2009): Herstellung von Funktionskomponenten für den Einsatz in elektromagnetische Mikroaktoren, Tagungsband 4. Kolloquium Mikroproduktion, BIAS Verlag, Bremen, Deutschland, ISBN:978-3-933762-32-0, S. 205-210
H. Gerdes, H.H. Gatzen (2009): Focused Ion Beam Core Hole Drilling for Stress Detection in Thin-films, Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York, Vol. 15, No. 1, pp. 151-153
O. Traisigkhachol, H. Schmid, M.C. Wurz, H.H. Gatzen (2009): Applying SU-8TM to the Fabrication of Micro Electro Discharge Machining Electrodes, Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York
O. Traisigkhachol, H.H. Gatzen (2009): High Aspect Ratio Micromolds for the Electroplating of Micro Electro Discharge Machining Tools, Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York
R. Bandorf, D. Paulkowski, F. Pape, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer (2009): Mikrotribologie, Tagungsband 4. Kolloquium Mikroproduktion, BIAS Verlag, Bremen, Deutschland, ISBN:978-3-933762-32-0, S. 197-203
S. Hansen, G. Janssen, C. Wiedemann, B. Ponick, A. Mertens, H.H. Gatzen (2009): Simulation, Herstellung und Ansteuerung von skalierbaren Mikroreluktanzmotoren, Tagungsband 4. Kolloquium Mikroproduktion, BIAS Verlag, Bremen, Deutschland, ISBN:978-3-933762-32-0, S. 191-196
F. Pape, H.H. Gatzen (2008): Tribological Behavior of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings, Göttinger Fachtagung Tribologie, Göttingen, Germany, Band I, Reibung, Schmierung und Verschleiß, ISBN 978-3-00-025676-9, 9/1-9/10
H.H. Gatzen, E. Flick (2008): Energieautarke Mikrosysteme in der Biomedizintechnik, Energy Harvesting, Essen, Deutschland, 2007, Expert Verlag, S. 78-87, ISBN 978-3-8169-2789-1
F. Pape, H.H. Yildiz-Ünveren, R. Küster, R. Bandorf, G. Bräuer, H.H. Gatzen (2007): Nano-Scratch Studies on Diamond-like Carbon Coatings on Various Materials Applied in Micro Actuators, GFT Tribologie-Fachtagung 2007, Göttingen, Germany, Band l, S. 28/1 - 28/10
H.H. Gatzen, S. Cvetkovic (2007): Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen, SHLP 2007, Braunschweig, Deutschland, 63. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, Deutschland, S. 342-361
K.-H. Wu, O. Traisigkhachol, M. C. Wurz, H. H. Gatzen (2007): Lesen und Schreiben magnetischer Daten, SFB653 Kolloquium, Hannovermesse 2007, Hannover, Deutschland, S. 63-68
S. Hansen, H. Gerdes, H.-H. Gatzen (2007): Modulare, mehrfunktionale Mikrosensorik- Mikrosensoren für Kraft- und Dehnungsmessung, SFB653 Kolloquium, Hannovermesse 2007, Hannover, Deutschland, S. 19-24
J. Koch, E. Fadeeva, M. Engelbrecht, C. Ruffert, H.H. Gatzen, A. Ostendorf, B.N. Chichkov (2006): Maskless Nonlinear Lithography with Femtosecond Laser Pulses, Applied Physics A: Materials Science & Processing, Springer-Verlag GmbH, A 82, pp. 23-26, ISSN: 0947-8396
C. Ruffert, H.H. Gatzen (2005): Ausbildung von Fachkräften für die Mikrosystemtechnik, Mikrosystemtechnik, Begleitband zum Kongress 2005, Freiburg, VDE Verlag, Berlin, S. 877-880
H.H. Gatzen (2005): Magnetische Mikrosystemtechnik – klein, robust, vielseitig, Begleitband zum Hannover Kolloquium 2004, Hannover, Deutschland, S. 127-138, ISBN 3-936888-51-5
H.H. Gatzen, C. Morsbach (2005): Trenn- und Profilschleifen keramischer Mikrostrukturen, 62. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, S. 332-341
H.H. Gatzen, M. Bedenbecker (2005): Herstellung polymergebundener Hartmagnete durch in SU 8 eingebrachte Magnetpulver, Mikrosystemtechnik, Begleitband zum Kongress 2005, Freiburg, VDE Verlag, Berlin, S. 581-584
M. Bedenbecker, R. Bandorf, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen (2005): Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten, SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Germany, S. 285-293, ISBN3-86130-999-8
M. Feldmann, C. Ruffert, H.H. Gatzen, S. Büttgenbach (2005): Fertigung von Funktionskomponenten für elektromagnetische Mikroaktoren, SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Germany, S. 295-304, ISBN3-86130-999-8
M. Hahn, R. Gehrking, B. Ponick, H.H. Gatzen (2005): Auslegung aktiver Mikrosysteme, SFB-Kolloquium Mikroproduktion, Mainz Verlag Aachen, Germany, S. 253-262, ISBN3-86130-999-8
R. Bandorf, R. Küster, C. Henke, H. Lüthje, J.-H. Sick, C. Neumeister, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer (2005): Tribologie von MEMS-Komponenten, SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Deutschland, S. 225-232, ISBN3-86130-999-8
R. Gehrking, C. Ruffert, S. Demmig, H.H. Gatzen, B. Ponick (2005): Entwicklung einer magnetischen Führung für Mikroaktoren, Mikrosystemtechnik, Begleitband zum Kongress 2005, Freiburg, VDE Verlag, Berlin, S. 383-386
R. Küster, R. Bandorf, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen, C. Neumeister (2005): Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren, Mikrosystemtechnik, Begleitband zum Kongress 2005, Freiburg, VDE Verlag, Berlin, S. 119-121
H.H. Gatzen (2004): Magnetische Mikrosystemtechnik – klein, robust, vielseitig, Begleitband zum Hannover Kolloquium 2004, Hannover, Deutschland, S. 127-138
ISBN: 3-936888-51-5
H.H. Gatzen, C. Morsbach, C. Kourouklis (2004): Chemisch-Mechanisches Polieren von Wafern für Mikrosysteme, 61. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, pp. 317-329
T. Kohlmeier, V. Seidemann, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen (2004): An Investigation on Technologies to Fabricate Microcoils for Miniaturized Actuator Systems, Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol.10, No. 3, pp.175-185
R. Bandorf, H. Lüthje, K. Schiffmann, M. Beck, H.H. Gatzen, M. Schmidt, S. Büttgenbach, G. Bräuer (2003): Submikrometerschichten für mikrotribologische Anwendungen, SFB-Kolloquium, Vulkan Verlag Braunschweig, S. 75-83
S.B. Wiendl, W.-R. Zabel, H.H. Gatzen, G. Poll: (2003): Grenzschichtuntersuchungen an schnelllaufenden fettgeschmierten Schrägkugellagern, GFT Tribologie Fachtagung 2003, Band 2, Göttingen
T. Budde, M. Föhse, B. Majjer, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen (2003): Fertigung magnetischer Schichten, SFB-Kolloquium, Vulkan Verlag Braunschweig, S. 85-94
V. Seidemann, T. Kohlmeier, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen (2003): Fertigung von Erregerspulen, SFB-Kolloquium Mikroproduktion, Vulkan Verlag Braunschweig
H.H. Gatzen, C. Morsbach (2002): Minimierung der Schnittbreite beim Trennschleifen von Wafern, 60. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan-Verlag, Essen, pp. 301-309
G. Poll, H.H. Gatzen, S. Wiendl, M. Gronitzki, M. Spreckels (2000): Korrelation mikrotribologischer Eigenschaften mit dem makroskopischen Reibungsverhalten am Beispiel von Synchronisierungen, Proc. 12th Int. Colloquium Tribology 2000-Plus, Stuttgart, Tribologie und Schmierungstechnik, S. 13-17

Vortrag

S. Hadeler (2022): Integrierte Sensorik im Gummiverbund, WIP Elastomerforum
C. Ruffert, H.H. Gatzen (2009): Concepts for the Apprenticeship and Advanced Training in Microtechnology, Sensor und Test 2009, Nuremberg, Germany

Konferenz (reviewed)

A. M. Zawacka, M. S. Prediger, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz (2022): Approaches for a Solely Electroless Metallization of Through-Glass Vias, 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
DOI: 10.1109/ECTC51906.2022.00145
L. Steinhoff, F. Dencker, M. C. Wurz (2022): Production and characterisation of batch manufactured flexible micro-grinding tools for finishing metallic surfaces, euspen's 22nd International Conference & Exhibition 2022
M. Arndt, T. Fünfkirchler, S. Hübner, F. Dencker, M. C. Wurz, B.-A. Behrens (2022): Monitoring of the flange draw-in during deep drawing processes using a thin-film inductive sensor, 12. Kongress der deutschen WPG - Wissenschaftliche Gesellschaft für Produktionstechnik, Stuttgart, Germany, October 2022
DOI: 10.1007/978-3-031-18318-8_12
R. Ottermann, S. Zhang, B. Denkena, H. Klemme, D. Kowalke, M. Korbacher, F. Dencker, M. Wurz (2022): In Situ Resistance Trimming of Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges, IEEE Sensors 2022
DOI: 10.1109/SENSORS52175.2022.9967357
S. Raumel, F. Dencker, M. C. Wurz (2022): Influence of oxide layers on plastic deformability of copper, 7th World Tribology Congress 2022
S. Raumel, M. Wurz, F. Dencker (2022): Batch Fabrication of Silicon Indenter Tips for adhesion investigations using Deep Reactive Ion Etching (DRIE), Nanobrücken 2022 - Nanomechanical Testing Conference
A. Glukhovskoy, M. Prediger, J. Schäfer, N. Ambrosius, A. Vogt, R. Santos, R. Ostholt, M. C. Wurz (2021): Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor, 2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
DOI: DOI 10.1109/ECTC32696.2021.00248
R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, D. Hoheisel, S. Jung, A. Wienke, J. Düsing, J. Koch, M.C. Wurz (2021): Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges on Curved Metallic Surfaces, IEEE Sensors 2021
S. de Wall, E.C. Fischer, F. Dencker, M.C. Wurz, S. Bengsch (2021): Anisotropic Magneto-Resistive Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate, IEEE Sensors 2021
S. Hadeler, R. Ottermann, Y. Long, F. Dencker, M.C. Wurz, J. Twiefel (2021): Investigations on Silver Sintering using an Ultrasonic Transient Liquid Phase Sintering Process, IEEE Electronics Packaging Technology Conference (EPTC)
Arndt M, Dencker F, Wurz MC (2020): Novel Piezoelectric Force Sensor Array for Investigation of Ultrasonic Wire Bonding, IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
DOI: 10.1109/ECTC32862.2020.00053
Fischer EC, Bengsch S, de Wall S, Wurz MC (2020): Giant Magneto-Resistive Effect based Sensor on Laser Direct Structured MID Substrates, IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
DOI: 10.1109/ECTC32862.2020.00077
R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, D. Hoheisel, P. Rottengatter, T. Kruspe, M.C. Wurz (2020): Direct Deposition of Thin-Film Strain Gauges with a New Coating System for Elevated Temperatures, IEEE Sensors 2020
DOI: 10.1109/SENSORS47125.2020.9278661
Raumel S, Barienti K, Dencker F, Wurz MC (2020): Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf die tribologischen Eigenschaften von Titan, 61. Tribologie-Fachtagung 2020
S. Bengsch, E. C. Fischer, S. de Wall, T. Schelm, M. Arndt, M. C. Wurz (2020): Optical Platform for Highly Precise Optical Components, IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
DOI: 10.1109/ECTC32862.2020.00341
S. Bengsch, M. Wurz (2020): Passive and Active Thermal Management of Bonded Bare-Dice Laser Diodes on Polymer Foil Substrates, 2020 IEEE Photonics Conference (IPC)
S. Bengsch, U. Giese, E. C. Fischer, M. C. Wurz (2020): Thin Film Transferring via PVA Substrate and Contacting of Sensor inside Elastomer Matrix, IEEE Sensors 2020
DOI: 10.1109/SENSORS47125.2020.9278876
S. de Wall, A. Kassner, F. Dencker, C. Künzler, H. Heine, W. Herr, M. Christ, M. Krutzik, E. M. Rasel, M. C. Wurz (2020): Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern, Mikro-Nano-Integration - 8. GMM-Workshop, 2020
S. Hadeler, S. Bengsch, M. Prediger, M. C. Wurz (2020): Transfer Printing of Conductive Thin Films on PDMS with Soluble Substrates for Flexible Biosensors, 7th International Electronic Conference on Sensors and Applications (ECSA)
DOI: 10.3390/ecsa-7-08181
Arndt M, Dencker F, Wurz MC (2019): Novel Eddy-Current Sensor For Industrial Deep-Drawing Applications, IEEE Sensors 2019
DOI: 10.1109/SENSORS43011.2019.8956948
Bengsch S, Aue M, Cromwell K, Wurz MC (2019): Structuring of Laser Activated Polymers for Sensor Applications, IEEE 69th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
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Bengsch S, Aue M, de Wall S, Wurz MC (2018): Structuring Methods of Polymers for Low Cost Sensor Manufacturing, IEEE 68th Electronic Components and Technology Conference (ECTC) | Datei | Weitere Informationen
DOI: 10.1109/ECTC.2018.00213
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Christ M, Kassner A, Smol R, Bawamia A, Peters A, Wurz MC, Rasel EM, Wicht A and Krutzik M (2018): Integrated Atomic Quantum Technologies in Demanding Environments: Development and Qualification of Miniaturized Optical Setups and Integration Technologies for UHV and Space Operation, International Conference on Space Optics 2018, ICSO 2018
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Dencker F, Schlenkrich A, Wurz MC (2017): Press hardening tool integrated thin film temperature sensor, Proceedings of the 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2017
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Pyatishev E, Enns Y, Komarevtsev I, Glukhovskoy A, Wurz MC (2017): A micromechanical gyroscope with bistable suspension of microdrive, Proceedings of 24th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems (ICINS)
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Schmelt AS, Hofmann V, Twiefel J, Fischer EC, Wurz MC (2017): Modeling and Characterization of a Bimodal Tactile Display, International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA)
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Klaas D, Rein M, Wurz MC, Rissing L (2016): Development of a Humidity Sensor Element based on sputter-deposited Thin ZnO-Layers, 3rd International Conference on System-integrated Intelligence: New Challenges for Product and Production Engineering, SysInt 2016, Procedia Technology 26, pp. 27-34 Weitere Informationen
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B. M. Mundotiya, M. C. Wurz, L. Rissing (2015): A Comparative Study of Saturation Induction with Current Density of Electrodeposited Fe-Ni-W Alloys, ECS Trans., Vol. 64, Issue No. 31, Magnetic Materials, Processes, and Devices 13, pp. 75-83
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D. Klaas, A. Wienecke, M.C. Wurz, L. Rissing, P. Freytag, H.J. Maier (2015): Smart System Integration: Moulding of Magnetic Field Sensors into AlSi9Cu3(Fe)-Alloys, SMTA Pan Pacific Microelectronics Symposium, Kauai, HI, USA
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H.H. Gatzen, J. Zeadan (2000): Investigations on the Coolant Supply in Precision Dicing, Proc. ASPE 15th Ann. Meet. 2000, Scottsdale, AZ, USA, pp. 90-93
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H.H. Gatzen, H.K. Tönshoff (1998): Risk Management and Product Integrity – A Simple Approach to Concurrent Engineering, Proc. TMCE 1998, Manchester, UK
H.H. Gatzen, L. Ruhbach (1998): Mechanical Microprofiling Mechanisms of Advanced Ceramics, Proc. 13th Ann. Meet. 1998, St Louis, MO, USA, pp. 69-75
T. Hellmold, L.P. Ruhbach, J. Zeadan, H.H. Gatzen (1998): Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts, Proc. ASPE Spring Topical Meet. 1998, Monterey, CA, USA
H.H. Gatzen (1997): Precision Engineering Requirements in Magnetic Memory Disc File Systems, Invited paper, Proc. 9th Precision Engineering Seminar 1997, Braunschweig
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H.H. Gatzen, H.K. Tönshoff (1997): Risk Management and Product Integrity – A Simple Approach to Concurrent Engineering, Proc. TMCE 1998, Manchester, UK, 1997
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann (1997): Applying Scanning Probe Microscopy to Ultraprecision-Machining, Proc. european Workshop on Microtechnology and Scanning Probe Microscopy 1997, Mainz
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann (1997): Rauheitsmessungen im Subnanometerbereich: Vergleich optischer und tastender Messverfahren (Roughness Measurement in the Subnanometer Range – a Comparison between Optical and Tactile Methods), Proc. Workshop 1997: New Developments and Applications in Scanning Probe Microscopy, Dresden, Germany
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, L.P. Ruhbach (1997): White Light Interferometry and Atomic Force Microscopy Grinding Tool Topography Measurements - A Comparison, Proc. 4th Int. Conf. on Ultraprecision in Manufacturing Engineering 1997, Braunschweig, Germany
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, L.P. Ruhbach (1997): Grinding Tool Topography Analysis by White Light Interferometry and Atomic Force Microscopy, Proc. 9th Precision Engineering 1997, Braunschweig
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, L.P. Ruhbach (1997): Ultraprecision Grinding of High Aspect Ratio Microparts, Proc. ASPE 12th Ann. Meet. 1997, Norfolk, UK, VA, pp. 454-457
H.H. Gatzen, M.S. Schwabe (1997): Technological Investigations for the Manufacture of Giant Magnetoresistive (GMR) Structures, Proc. SICAN Fall Conf. 1997, Hanover, Germany
H.H. Gatzen, S.A. Zielke (1997): Finite Element Analysis of Dual Magnetic Field Sensors, SICAN Fall Conf. 1997, Hanover
H.H. Gatzen, J.C. Mätzig (1996): Minimierung der Rauheit beim Nanoschleifen isostatisch heißgepreßter Keramikwerkstoffe (Roughness Minimization during Nanogrinding of Hot Isostatic Pressed Ceramics), Proc. 8th Precision Engineering, Braunschweig, pp. 22.1-22.21
H.H. Gatzen (1995): Microtechnology and its Application in Data Storage - An Overview, Proc. SICAN and CAD/CAT Lower Saxony Conf. 1995, Germany
H.H. Gatzen (1995): Time to Market - Schlüssel zum Erfolg bei Hochtechnologieprodukten (Time to Market - The Key to Success with High Technology Products), Proc. SICAN and CAD/CAT Lower Saxony Conf. 1995, Germany
H.H. Gatzen (1995): Magnetic Micromechanics Activities in Germany, Invited paper, Proc. 4th Int. Symposium on Materials, Processes and Devices 1995, Chicago, Illinois, USA
H.H. Gatzen, G.F. Hughes (1987): Flight Attitude and Take-off/Landing Behavior of a Miniature Winchester Head for Rotary Actuators, Proc. ASLE Tribology Conf. 1987, San Antonio, Texas, USA, pp. 133-137
H.H. Gatzen, L.W. Fay (1982): Positional Accuracy and Acoustic Noise Problems in High Track Density Floppy Disk Drives with a Step Motor Driven Band Actuator, Proc. 11th Ann. Symposium on Incremental Motion Control Systems and Devices 1982, Chicago, Illinois, USA, pp. 197-207
H.H. Gatzen (1977): Bütykös tárcsa felületeinek egyenetlensége és érdessége által létrehozott zavaró gyorsulások (Disturbing Accelerations caused by Waviness and Roughness of the Cam Surface), Finommechanika Microtechnika 12
H.H. Gatzen, J. Heinzl (1977): Dynamik schnellaufender Kurvengetriebe (Dynamics of High Speed Cam Follower Systems), Proc. Second Symposium on Linkages and Computer Aided Design Methods, Vol. 3, No. 1, paper 24, Bucharest, Rumänien and I-Magazine No. 281, Düsseldorf, pp. 163-169
H.H. Gatzen (1976): Die quantitative Abschätzung der Störbeschleunigungen bei Kurvengetrieben (A Quantitative Analysis of Disturbing Accelerations in Cam Follower Systems), Proc. Constronic '76, Budapest, Ungarn, pp. 327-336

Konferenz

D. Konopka, F. Pape, R. Ottermann, T. Steppeler, F. Dencker, M. C. Wurz, G. Poll (2022): Characterization of an anti-wear coating for the application of highly loaded smart thin-film sensors, International Conference BALTTRIB, Kaunas, Lithuania, September 2022
DOI: 10.15544/balttrib.2022.9
L. Steinhoff; F. Dencker; M. Wurz (2022): Application of batch manufactured flexible micro-grinding tools on copper and oxidized copper surfaces, 63. Tribologie Fachtagung der GfT
M. Reulbach, M. Aue, H. Windhagen, M. S. Prediger, F. Nürnberger, E. Jakubowitz (2022): The effect of tin coating in combination with phosphoric acid primers on bone cement bond strength to total hip stem alloys, MSE 2020 - Materials Science and Engineering Congress, Darmstadt, Deutschland
M. S. Prediger, E. Müller, M. Reulbach, M. C. Wurz, E. Jakubowitz (2022): Development and investigation of tin coatings for increased bone cement detachment at implant interfaces, 1st International SIIRI Symposium: CRC/TRR 298 SIIRI - Safety-Integrated and Infection-Reactive Implants, Hanover, Germany, August 2022
S. Raumel; F. Dencker; M. Wurz; (2022): Concept and fabrication of functionalized indenter tips for adhesion studies in XHV-adequate atmosphere, MSE Congress 2022
T. Bierwirth, F. Dencker, E. Fischer, M. Wurz (2022): Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using Molded Interconnect Device Technology, Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC) 2022
A. Glukhovskoy, E. Müller, M. Prediger, H. Maier, M.C. Wurz (2021): Entwicklung einer Polyimidmembran für elektromagnetische Mittelohr-Aktoren, MikroSystemTechnik Kongress 2021
E. C. Fischer, T. Bierwirth, F. Dencker, M. C. Wurz (2021): Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB Approach, MikroSystemTechnik Kongress 2021
ISBN: 978-3-8007-5656-8
M. Arndt, M.C. Wurz, F. Dencker, Y. Long, J. Twiefel (2021): Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses, MikroSystemTechnik Kongress 2021
M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz (2021): Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen, MikroSystemTechnik Kongress 2021
R. Basten, A. Zawacka, S. Bengsch, M. Prediger, M.C. Wurz (2021): Folienübertragung von Dünnfilmen auf Metalloberflächen mithilfe von Sol-Gelen, Self-Assembling Monolayers und Wasserglas, MikroSystemTechnik Kongress 2021
R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, D. Hoheisel, P. Rottengatter, T. Kruspe, S. Jung, M.C. Wurz (2021): Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen, MikroSystemKongress 2021
R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz (2021): Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage, NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium
S. de Wall, A. Kassner, C. Künzler, F. Dencker, L. Diekmann, M.C. Wurz (2021): Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern, MikroSystemTechnik Kongress
S. Raumel, F. Dencker, M.C. Wurz (2021): Investigation of tribologically relevant surface layers formed on non-ferrous metals in oxygen-free conditions, European Symposium on Friction, Wear and Wear Protection, Friction 21
Arndt M, Dencker F, Wurz MC (2019): Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von werkzeugintegrierten induktiven Sensoren, MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
Fischer EC, Cromwell K, Wurz MC (2019): Fertigung und Charakterisierung von in Leiterplatten integrierten Mikrotransformatoren, MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN: ISBN 978-3-8007-5090-0
Glukhovskoy A, Wurz MC (2019): The concept of a large working stroke reluctance zipper actuator, MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
Kassner A, Künzler C, Dencker F, Christ M, Heine H, Herr W, Krutzik M, Rasel EM, Wurz MC (2019): Atomchips mit integrierten optischen Gittern zur Erzeugung von Bose-Einstein-Kondensaten, MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN: ISBN 978-3-8007-5090-0
Kassner A, Rechel M, Heine H, Herr W, Christ M, Krutzik M, Rasel EM, Wurz MC (2019): Atom Chip technology for use under UHV conditions, Smart Systems Integration; 13th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems, Barcelona, Spain, 2019, pp. 69-75 Weitere Informationen
ISBN: 978-3-8007-4919-5
M. V. Mishin, A. A. Vorobyev, A. S. Kondrateva, E. Y. Koroleva, P. A. Karaseov, P. G. Bespalova, A. L. Shakhim, A. Glukhovskoy, M. Wurz, A. V. Filimonov (2019): Substrate Modification Influence on Properties of Nanocomposite Based on TiO2 and Gold Nanoparticles, International Conference "Emerging Trends in Applied and Computational Physics 2019" (ETACP-2019) 21–22 March 2019, Saint-Petersburg, Russian Federation
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Ottermann R, Knöpke R, Wurz MC (2019): Elektrische Kontaktierung bauteilinhärenter Dehnungsmesssensorik mithilfe des Transient Liquid Phase (TLP) Bonding, MikroSystemTechnik Kongress 2019
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Prediger M, Rechel M, Wurz MC (2019): AMR-based mechanical pressure sensors: a proof of concept, 15th International Symposium Magnetoresistive Sensors and Magnetic Systems
Prediger M, Wittek C, Owiss G, Wurz MC (2019): AMR Sensoren auf flexiblem Substrat zur Messung von Verformungen eines hartmagnetischen Partikel-Elastomerverbunds, Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
Glukhovskoy A, Schnebeck T, Holz S, Fischer EC, Wurz MC (2018): A laser-based, in-line chlorine dioxide concentration sensor, Proceedings of Symposium on Automated Systems and Technologies, Hanover, Germany (TEWISS Verlag)
ISBN: 978-3-95900-223-3
Papakonstantinou A, Heine H, Le Gonidec M, Kassner A, Rechel M, Herr W, Wurz MC, Ertmer W, Rasel EM (2018): Next Generation Atom Chip Development, DPG Spring meeting 2018 Weitere Informationen
Behrens BA, Hübner S, Niemeyer H, Moritz J, Pfeffer C, Wölki K, Dencker F, Wurz MC, Wolter B, Müller T, Niese F (2017): Hot stamping process reliability – Innovative sensor technology for inline quality assurance, Conference Strategies in Car Body Engineering, 22-23 March 2017, Bad Nauheim
Beringer S, Dinulovic D, Bengsch S, Haug M, Wurz MC (2017): Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten, MikroSystemTechnik Kongress 2017 · 23. – 25. Oktober 2017 in München (Seite 624-627)
ISBN: 978-3-8007-4491-6
Fischer EC, Glukhovskoy A, Schmelt AS, Twiefel J, Wurz MC (2017): Mikroaktorik für ein Taktiles Display, Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 515-518 Weitere Informationen
ISBN: 978-3-8007-4491-6
Heine H, Matthias J, Grove N, Sahelgozin M, Kassner A, Rechel M, Abend S, Seidel ST, Herr W, Wurz MC, Müller J, Ertmer W, Rasel EM (2017): Atom-Chip based BEC sources for compact and transportable experiments Weitere Informationen
Klaas D, Pehrs F, Wurz MC (2017): Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage, Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683 Weitere Informationen
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M. Stompe, M. Wurz (2017): Dicing by "Crack-and-Fracture" - Novel separation method for MEMS substrates
Pyatishev E, Wurz MC, Enns Y, Glukhovskoy A, Fischer EC, Odintsov A, Kleimanov R (2017): Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter, Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München Weitere Informationen
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Dinulovic D, Shousha M, Haug M, Beringer S, Wurz MC (2016): Thin-Film Based Microtransformer Suitable for High Switching Frequency Power Applications, PCIM Europe 2016; International Exhibition and Conference for Power Electronics, Intelligent Motion, Renewable Energy and Energy Management; Proceedings of Weitere Informationen
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Rechel M, Bengsch S, Wurz MC (2016): Electroplating through Fluidic Channels as Production Technology for 3D Interconnect Devices and Sensing Structures, ECS Transactions. 2016 volume 75, issue 7, 25-32 Weitere Informationen
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ISBN: 978-3-8007-4100-7
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M. Rechel, L. Rissing, V. Hofmann, A. Tarnowsky, F.-E. Wolter, J. Wallaschek, M. C. Wurz (2015): Entwurf und Fertigung eines elektromagnetischen Normalkraftaktors in hybrider Bauform für tactile Displays., Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2015), Karlsruhe, Deutschland, VDE Verlag GmbH – Berlin – Offenbach, S. 761-764
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D. Dinulovic, M. Kaiser, A. Gerfer, O. Opitz, M.C. Wurz, L. Rissing (2013): MEMS Fabricated Microtransformer with Closed Fe-Co Magnetic Core for High Frequency Power Applications, 58th Magnetism & Magnetic Materials (MMM2013), Denver CO, USA, p. 352

Berichte

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Zeitschriften/Aufsätze

Mundotiya BM, Rissing L, Wurz MC (2016): Effect of Substrate Temperature on Magnetic Properties of Electroplated 82Ni-15Fe-3W Alloy Films, IEEE Trans. on Magnetics, Vol. 52, Issue 8 Weitere Informationen
DOI: 10.1109/TMAG.2016.2549987
Mundotiya BM, Rissing L, Wurz MC (2016): Effect of Annealing Temperature on the Coercivity and the Electrical resistivity of the Electroplated Ni-Fe-W alloy film, ECS Trans., Vol. 75, Issue No. 2, Magnetic Materials, Processes, and Devices, pp. 59-65 Weitere Informationen
DOI: 10.1149/07502.0059ecst
A. Belski, M.C. Wurz, L. Rissing (2011): Process Development of an Electoplated Permalloy Layer on Magnetic Magnesium for Gentelligent Products, ECS Transactions, Vol. 33, Issue 34, Magnetic MEMS and Devices, 2011, pp. 93-104
J. Chen, L. Rissing (2011): Electroplating Hard Magnetic SmCo for Magnetic Microactuators Applications, Journal of Applied Physics, Vol 109, No. 7, 2011
M. C. Wurz, P. Wagner, L. Rissing, J. Caro (2011): Assembly and Embedding of Nanoparticles in a Ni-matrix., ECS Transactions, Vol. 33, Issue 34, Magnetic MEMS and Devices, 2011, pp. 33-42
DOI: 10.1149/1.3573586
M. Wurz, L. Rissing (2011): Einsatz von Kupfer und Kupferlegierungen in der Mikrosystemtechnik, HochschulKupferSymposium, Hannover, Deutschland, Fachzeitschrift Metall, 65. Jg., Nov. 2011, S. 504-506
S. Cvetkovic, A. Wienecke, L. Rissing (2011): Fabrication of MEMS on Printed Circuit Boards, ECS Transactions, Vol. 33, Issue 34, Magnetic MEMS and Devices, 2011, pp. 69-80
S. Cvetkovic, C. Morsbach, L. Rissing (2011): Ultra-precision Dicing and Wire Sawing of Silicon Carbide (SiC), “Microelectronic Engineering” Journal (spec. issue), Proc. 36th International Conf. on Micro&Nanoengineering (MNE10), Genoa, Italy, Vol.88, Nr. 9, 2011, pp. 2500-2504
S. Cvetkovic, M. Stompe, L. Rissing (2011): Einfluss verschiedener Blatteigenschaften auf die Schnittqualität beim Präzisionstrennschleifen von mikrosystemtechnischen Materialien, wt Werkstatttechnik online, Springer VDI Verlag, Ausgabe 1f1/12 des Jahrgangs 2011
B. Wielage, T. Mäder, D. Weber, A. Belski, H.H. Gatzen (2010): Analyses of Sensor Films on a Carbon Fibre, Journal FIB, 2010 (s.dazu auch Nr. 283!?)
B. Wielage, T. Mäder, D. Weber, A. Belski, H.H. Gatzen (2010): Analyses of Sensor Films on a Carbon Fibre, Journal of Materials Science and Engineering
B. Wielage, T. Mäder, D. Weber, A. Belski, H.H. Gatzen (2010): Analyses of Sensor Films on a Carbon Fibre, Journal of Materials Science and Engineering, Sept. 2010, Vol. 4, No. 9, (Serial No. 34), ISSN 1934-8959, USA, 2010
J. Chen, E. Flick, H.H. Gatzen (2010): Minimizing Oxygen Inclusion when Electroplating High Saturation Density CoFe for Microelectromechanical System, Journal of Applied Physics 107, Issue 9, pp. 09A311-09A311-3, 2010
K.-H. Wu, E. Gastan, M Rodman, B.-A. Behrens, Fr.-W. Bach, H.H. Gatzen (2010): Development and Application of Magnetic Magnesium for Data Storage in Gentelligent Products, Journal of Magnetism and Magnetic Material 322, Elsevier, pp. 1134-1136, 2010
V. Zagorodnii, A.J. Hutchison, S. Hansen, J. Chen, H.H. Gatzen, Z. Celinski (2010): Broad-band Ferromagnetic Resonance Characterization of Lossy Ferromagnetic Metallic Elements, Journal of Applied Physics 107, Issue 11, pp. 113906-113906-7, 2010
B.-A. Behrens, H.H. Gatzen, I. Peshekhodov, F. Pape (2009): Investigation of the Mechanical Behavior of a PU-Based Coil-Coating System with the Help of Indentation and FE Analysis, Key Engineering Materials Vols. 410-411 (2009), pp. 217-224
D. Dinulovic, H. Saalfeld, Z. Celinski, S. Field, H.H. Gatzen (2009): Evaluation of an Electromagnetic Microactuator using Scanning Hall Probe Microscopy Measurements, Journal of Applied Physics, AIP, Vol. 105, 07F119-1
A. Neumeister, R. Himmelhuber, C. Materlik, T. Temme, F. Pape, H.H. Gatzen, A. Ostendorf (2008): Properties of Three-Dimensional Precision Objects Fabricated by Using Laser Based Micro Stereo Lithography, JLMN-Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol. 3, No. 2, pp. 67-72
B. Spasova, M. Wurz, H.H. Gatzen (2008): Manufacturing Technology for the Fabrication a Discrete Actuator Using a Magnetic Shape Memory Alloy, E-MRS-Symposium 2007, Warsaw, Poland, European Physics Journal, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Special Topics 158, pp. 243-247
B. Spasova, M. Wurz. H.H. Gatzen (2008): Application of MSM Bulk Material in a Hybrid Microactuator, EUROMAT 2007, Nürnberg, Germany, Physica Status Solidi (a) 205, No. 10, pp. 2307-2312 Wiley-VCH Verlag
C. Ruffert, H.H. Gatzen (2008): Fabrication and Test of Multi Layer Micro Coils with a High Packaging Density, HARMST2007, Besançon, France, Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 14, No. 9-11, pp. 1589-1592
D. Paulkowski, R. Bandorf, S. Achilles, F. Pape, H.H. Gatzen, G. Bräuer (2008): Studies on Diamond-like Carbon Coatings for the Application in Micro Actuators, EUROMAT 2007, Nuremberg, Germany, (accepted for Advanced Engineering Materials), Wiley-VCH Verla
K.-H. Wu, O. Traisigkhachol, H.H. Gatzen (2008): A Concept for Magnetic Data Recording on Genetically Intelligent ("Gentelligent") Components, EUROMAT 2007, Nuremberg, Germany, Physica Status Solidi (c) 5, No. 11, pp. 3547-3550, Wiley-VCH Verlag
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Doktorarbeiten

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Rittinger J (2017): Realisierung von AMR-Sensoren auf umgeformten metallischen Substraten, PZH Verlag, Berichte aus dem impt Weitere Informationen
ISBN: 978-3-95900-163-2
Stompe M (2017): Präzisionsbearbeitung bearbeitbarer Festkeramiken im ungebrannten Zustand durch Trennschleifen Weitere Informationen
ISBN: 978-3-95900-127-4
Alexander Belski (2015): Entwicklung und Fertigung eines Flexleiter-basierten magnetischen Schreibkopfes, Berichte aus dem impt, IMPT 01/2015 Weitere Informationen
ISBN: 978-3-95900004-8
Anja Wienecke (2015): Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder, Berichte aus dem impt, IMPT 02/2015 Weitere Informationen
ISBN: 978-3-95900-032-1
Dominik Hoheisel (2015): Elektromagnetischer Mikroaktor zur Erzeugung einer Flüssiglinse, Berichte aus dem impt, IMPT 03/2015
ISBN: 978-3-95900-043-7
Andreas Schwenke (2014): Laserbasierte Generierung von Nanokompositmaterialien für medizintechnische Anwendungen, (entstanden in Zusammenarbeit mit dem LZH), Berichte aus dem LZH, Band 04/2014, TEWISS-Technik und Wissen GmbH, Garbsen Weitere Informationen
ISBN: 978-3-944586-75-5
Anja Hansen (2014): Adaptive Optik für die vitreo-retinale Femtosekundenlaserchirurgie, (entstanden in Zusammenarbeit mit dem LZH), Berichte aus dem LZH, Band 01/2014, TEWISS-Technik und Wissen GmbH, Garbsen Weitere Informationen
ISBN: 978-3-944586-45-8
Markus Schomaker (2013): Plasmonenbasierte Zelltransfektion im Hochdurchsatz mittels ultrakurzer Laserpulse, (entstanden in Zusammenarbeit mit dem LZH), Berichte aus dem LZH, Band 03/2013, TEWISS-Technik und Wissen GmbH, Garbsen Weitere Informationen
ISBN: 978-3-944586-15-1
Tim Griesbach (2013): Technologieentwicklung zur Fertigung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten, Berichte aus dem impt 01/2013, TEWISS - Technik und Wissen GmbH, Garbsen Weitere Informationen
ISBN: 978-3-944586-40-3
Hansen, Stefan (2011): Fertigung und Charakterisierung eines modularen Mikro-Reluktanzschrittmotors Weitere Informationen
Pape, Florian (2011): Mikrotribologische Untersuchungen an Wälzlagern mit polymeradditiver Fettschmierung Weitere Informationen
Traisighkachol, Ornwasa (2011): Fertigung von Werkzeugelektroden für die Mikrofunkenerosion (µ EDM) Weitere Informationen
Cvetkovic, Srecko (2010): Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) von Mirkosystemen Weitere Informationen
Flick, Eva (2010): Elektromagnetischer Mikroaktor zur Nanopartikel-Manipulation in der Biomedizin Weitere Informationen
Hahn, Matthias (2010): Fertigung und Untersuchungen zur Optimierung eines linearen Mikro-Hybridschrittmotors Weitere Informationen
Wu, Karl-Heinz (2010): Magnetische Datenspeicherung auf Bauteiloberflächen Weitere Informationen
Bedenbecker, Matthias (2009): Magnetische Eigenschaften mikrotechnischer Magnetkreise
Wurz, Marc C. (2009): Fertigung eines magneto-optischen Schreib-/Lesekopfes
Becker, Christian (2007): "Fertigungstechnologieentwicklung für Giant Magnetoresistive (GMR-) Sensoren zur Magnetfeldmessung"
Dinulovic, Dragan (2007): Entwurf und Fertigung eines linearen induktiven Mikrowegmesssensors
Kourouklis, Christos (2007): Entwicklung und Fertigung von Nano-Raunormalen
Ruffert, Christine (2007): Entwicklung und Aufbau einer Magnetführung für einen Mikrolinearmotor
Budde, Thomas (2006): Entwicklung von Samarium-Kobalt-Magneten
Günzel, Gerald (2006): Untersuchungen zum Dünnen und Vereinzeln dünner Siliziumwafer
Andreeva, Ekaterina (2005): Aufbau und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung
Föhse, Martin (2005): Entwurf und Fertigung eines linearen elektromagnetischen Mikromotors nach dem Synchronprinzip
Iswahjudi, Heri (2005): "Simulationen zur Entwicklung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung"
Neumeister, Claudia (2005): Methode zur zielorientierten Varianten-Findung bei der Entstehung mikrotechnischer Produkte
Beck, Michael (2004): Erhöhung der Verschleißfestigkeit von Mikrobauteilen
Kohlmeier, Thomas (2004): Entwicklung eines elektromagnetischen Antriebsssystems für einen optischen Mikroschalter unter besonderer Berücksichtigung von Fertigungstechniken und ihrer Weiterentwicklung
Wiendl, Sonja (2004): Mikrotribologische Untersuchungen an fettgeschmierten Wälzlagern
Zeadan, Jeihad (2001): Einfluss des Kühlschmiermittels auf die Fertigung keramischer Mikrobauteile durch Hochpräzisionstrennschleifen
Siekmann, Heiko (2000): Arbeitsscheibenoptimierung beim Nanoschleifen
Wiendl, Wulf (2000): Produktintegritätskonzept zum Einsatz in Concurrent Engineering
Rissing, Lutz (1999): Entwicklung und Herstellung eines magnetoelastischen Mikrosensors
Schwabe, Michael (1999): Doppelstreifige magnetoresistive Sensoren mit hoher Formanisotropie
Zielke, Steven (1999): Mikromagnetische Simulationen von kleinen Strukturen
Ruhbach, Lars (1998): Erzeugung hochgenauer Kanten beim Präzisionstrennschleifen von Keramik
Mätzig, Christoph (1997): Ultrapräzisionsbearbeitung von Strukturkeramiken mittels Nanoschleifen
H.H. Gatzen (1976): Bestimmung der Nutz- und Störbeschleunigungen bei Kurvengetrieben. (Determination of the Disturbing and Effective Accelerations in Cam Follower Systems), Dissertation, RWTH Aachen

Verschiedenes

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M. Arndt (2022): Entwicklung eines piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays, phi - Produktionstechnik Hannover Informiert, Newsletter Nr. 34 / März 2022
DOI: https://doi.org/10.48811/phi-22-002
M. S. Prediger (2022): Drucksensoren aus Glas: IMPT gewinnt „Best Session Paper“, phi - Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 36 / September 2022
Kassner A., Wurz M.C. (2021): Forscher aus Hannover entwickeln miniaturisierte Quantengravimeter, phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 30 / März 2021
DOI: https://doi.org/10.48811/phi-21-003
ISSN: 2198-1922
L. Steinhoff (2021): Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms, phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021
M. Klaproth, B. Denkena, B. Bergmann, R. Ottermann, F. Dencker, M. Wurz (2021): Werkzeugmaschinen werden intelligent, VDI-Z
DOI: https://www.ingenieur.de/fachmedien/vdi-z/werkzeugmaschinen/werkzeugmaschinen-werden-intelligent/
S. Raumel, R. Ottermann (2021): Zeigt euren MuT: Mädchen und Technik ist wieder da!, phi - Produktionstechnik Hannover informiert
Raumel S (2020): Verschleiß-Untersuchung in sauerstofffreier Atmosphäre, phi – Produktionstechnik Hannover informiert, 2020
Hockauf R, Asadi E, Denkena B, Wurz MC (2019): „Hai-Tech“ spanend fertigen, Werkstatt und Betrieb
Klaas D, Glukhovskoy A (2019): Wasseranalysegerät wird Industrie 4.0-fähig, Digitalisierung erfolgreich umgesetzt, Nr. 2, 2019
ISBN: 978-3-95900-350-6
Prediger M (2019): Geringste Drücke magnetisch messen, phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 24 / September 2019
ISSN: 2198-1922
Asadi E (2018): Innovatives Verfahren zur Herstellung von Schleifscheiben, Produktionstechnik Hannover informiert (phi), August 2018
Bengsch S (2017): Kontaktierung und Kühlung von ungehausten Halbleiterbauteilen auf Kunststofffolien, Uni Magazin Leibniz Uni Hannover (Ausgabe 03/04 2017)
Bengsch S, Fischer EC (2017): „Tire as Sensor“ - Industriekooperation am Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) mit der Continental Reifen GmbH, Phi - Produktionstechnik Hannover informiert (Ausgabe 4/2017) Weitere Informationen
E. Asadi (2016): Massenfertigung für Mikrozerspanwerkzeuge, Produktionstechnik Hannover informiert (phi), Newsletter Nr. 11
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D. Klaas (2015): Schlankheitskur für Sensoren, Produktionstechnik Hannover informiert (phi), Newsletter Nr. 9
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T. Yu. Vergentev, E. Y. Koroleva, L. Rissing, A. V. Filimonov (2015): Analysis of in-Plane Conductivity of La1-xSrxF3-x Superionic Thin Films., Computer Science
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H.H. Gatzen, E. Flick (2008): Biomedizinische Anwendungen energieautarker Mikrosysteme, CD 2, Fachveranstaltung Energy Harvesting, Haus der Technik, Essen, Deutschland
H.H. Gatzen, F. Pape, C. Ruffert (2008): ANKOM-Projekt "ProfIS" - Professional Improvement by Study in Engineering Sciences, HIS Hochschul-Informations-System GmbH, Forum Hochschule, ISSN 1863-5563, 13/2008, pp. 81-89
H.H. Gatzen, P. J. P. Freitas, E. Obermeier, J. Robertson (2008): Electromagnetic Second Stage Microactuator for a Hard Disc Recording Head, Proc. Innovative Mass Storage Technology Workshop (IMST), Leuven, Belgium
I. Peshekhodov, F. Pape, K. B. Sidhu, H.H. Gatzen, B.-A. Behrens (2008): Investigation of a Thermoplastic Polyurethane Coating on Galvanized Sheet Steel with the Help of Numerical and Experimental Nanoindentation, Proceedings (CD), Numisheet 2008, Interlaken, Switzerland

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Publikationen des Instituts für Mikroproduktionstechnik

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