YouTube: Entwicklung eines Glas-Silizium Emitterchips mit trenngeschliffenen Feldemittern
Unser Hauptaugenmerk der Forschungsaktivitäten liegt im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Dabei liegen die Kernkompetenzen des Instituts in der Dünnfilmtechnologie, Strukturierungstechnologie, der Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie der mechanischen Bearbeitung und Charakterisierung von MEMS und MEMS Materialien.