Leibniz Universität Hannover Fakultät Fakultät für Maschinenbau
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Institut für Mikroproduktionstechnik
© IMPT / Fischer

Unser Hauptaugenmerk der Forschungsaktivitäten liegt im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Dabei liegen die Kernkompetenzen des Instituts in der Dünnfilmtechnologie, Strukturierungstechnologie, der Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie der mechanischen Bearbeitung und Charakterisierung von MEMS und MEMS Materialien.

Diamantschichten für Mikrotechnologie herstellen und verarbeiten

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Letzte Änderung: 04.02.26

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