BACHELORVERANSTALTUNGEN
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Nanoproduktionstechnik
Vorlesung und Übung
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Kleine Laborarbeit (ehem. AML)
Praktikum
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Praktische Einführung in die mikrotechnische Fertigung
Tutorium
MASTERVERANSTALTUNGEN
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Aufbau- und Verbindungstechnik
Vorlesung und Übung
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Mikro- und Nanosysteme
Veranstaltung und Übung
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Mikrotechniklabor
Praktikum
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Nanoproduktionstechnik
Vorlesung und Übung