Studium
Studentische Arbeiten

Studien- und Abschlussarbeiten am IMPT

Momentan sind die untenstehenden Themen ausgeschrieben. Bei Interesse wenden Sie sich bitte mit ihrer studentischen Universitätsemailadresse an den Kontakt, der in der Ausschreibung angegeben ist.

  • Untersuchung von sauerstoffaffinen Werkzeug- und Werkstückbeschichtungen in XHV-adäquater Atmosphäre

    Masterarbeit (ab sofort)

    Der Sonderforschungsbereich 1368 hat das Ziel, ein grundlegendes Verständnis der Vorgänge und Mechanismen in fertigungstechnischen Prozessen unter vollständigem Ausschluss von Sauerstoff zu gewinnen. In diesem Zusammenhang sollen Werkzeug und Werkstückbeschichtungen, die in Normalatmosphäre aufgrund von Oxidation einem hohen Verschleiß unterliegen, auf ihre Einsatzfähigkeit unter XHV adäquater Atmosphäre untersucht werden. Ziel dieser Arbeit ist es diverse Beschichtungen wie SiC, SiN, TiN, DLC auf ihre Einsatzfähigkeit unter XHV adäquaten Bedingungen hinsichtlich ihrer tribologischen und mechanischen Eigenschaften zu analysieren. Dabei werden die Schichten auf ihre Verschleißbeständigkeit, Festigkeit und Diffusionsneigung untersucht. Darüber hinaus werden der Einfluss des Silans/SiO2 sowie mögliche Einflüsse durch Wasserstoffeinlagerungen auf eventuelle Veränderungen der mechanischen Eigenschaften betrachtet.

    Voraussetzungen sind: 

    • Kenntnisse in Tribologie
    • engagierte und kreative Arbeitsweise
    • Idealerweise besuchte Lehrveranstaltungen: Mikrotechniklabor

     

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Selina Raumel.

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  • Simulationsunterstützte Analyse optischer Gitter mittels Ellipsometrie

    Bachelor-/Studien-/Masterarbeit (ab sofort)

    Am IMPT werden Atomchips als Bestandteil von magneto optischen Fallen für kompakte Materiewelleninterferometrie entwickelt. Zur Nutzbarmachung dieser Technologie im Feld oder an Bord eines Satelliten soll die Miniaturisierung weiter vorangetrieben werden. Dies soll durch die Herstellung eines nanostrukturierten Beugungsgitters auf den Atomchips erfolgen. Durch eine geschickte Ausnutzung von Beugungseffekten kann die Anzahl der benötigten Laser zur Kühlung reduziert werden.
    Im Rahmen dieser Arbeit sollen optische Gitter lithografisch strukturiert und mikrotechnologisch übertragen werden. Durch ellipsometrische Messungen soll im Anschluss eine simulationsunterstützte Analyse hinsichtlich geometrischer Eigenschaften erfolgen. Die generierten Daten sollen finalisierend mit Aufnahmen aus der Rasterelektronenmikroskopie verglichen werden.

    Voraussetzungen sind: 

    • Selbstständiges, eigenverantwortliches Arbeiten
    • Bereitschaft zur Arbeit im Reinraum
    • Kenntnisse im Bereich der Mikroproduktionstechnik sind von Vorteil
    • Matlab Kenntnisse sind von Vorteil

     

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Sascha de Wall.

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  • Herstellung und Charakterisierung einer optischen Mikro-Plattform

    Projekt-/Masterarbeit (ab sofort)

    Bei der Herstellung photonischer Komponenten geht der Trend zunehmend in Richtung erhöhter Komplexität, Miniaturisierung und Integrationsdichte. Ein möglicher Ansatz für die Fertigung der nächsten Generation photonischer Bauteile liegt in der Erhöhung der Flexibilität bei gleichzeitiger Kostenreduzierung. Dafür soll ein optischer Tisch so miniaturisiert werden, dass optische Komponenten wie beispielsweise Filter oder Dioden flexibel und austauschbar auf diesem einsetzbar sind. Der Strahlengang erfolgt dabei monolithisch durch die Verwendung von Lichtwellenleitern. Im Rahmen dieser Arbeit soll zunächst ein bestehendes Plattform- und Lichtwellenleiter-Design gefertigt und charakterisiert werden. Dazu soll der Fertigungsprozess evaluiert und die Funktionsfähigkeit des Systems bestätigt werden. Das Hauptaugenmerk soll auf der erreichbaren Dämpfung liegen.

    Auf der Grundlage der erzielten Untersuchungsergebnisse soll abschließend ein weiterführendes Demonstratorsystem ausgelegt, gefertigt und charakterisiert werden.

    Voraussetzungen sind: 

    • Vorkenntnisse in Mikrotechnologie, Optik sowie Spritzguss und Lasertechnik wünschenswert
    • Engagierte und kreative Arbeitsweise

     

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Robin Basten.

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  • Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von Stempeln zum Ultraschall-Heißprägen optischer Komponenten

    Projekt-/Masterarbeit (ab sofort)

    Heißpräge-Prozesse mit Kunststoffen oder Gläsern werden standardmäßig zur Herstellung optischer Komponenten wie beispielsweise Linsen oder Gitter eingesetzt. Die Anforderungen an Qualität und Quantität dieser Mikrobauteile steigen dabei stetig an. Einen vielversprechenden Ansatz stellt die Verwendung von Ultraschall im Heißpräge-Prozess dar.

    Im Rahmen dieser Arbeit sollen Prägestempel designed und gefertigt werden. Dazu soll zunächst eine umfangreiche Werkstoff- und Prozessanalyse durchgeführt werden, um ein geeignetes Stempelmaterial zu finden. Das Hauptaugenmerk soll auf den erreichbaren Oberflächengüten sowie der erzielbaren Abformgenauigkeit liegen. Auf der Grundlage der erzielten Untersuchungsergebnisse soll ein Demonstratorsystem ausgelegt, gefertigt und charakterisiert werden, welches in Kooperation mit dem IDS zur Strukturierung von Glassubstraten verwendet werden kann.

    Voraussetzungen sind: 

    • Vorkenntnisse in Mikrotechnologie, Werkstoffkunde sowie 3D-Druck, Spritzguss und Lasertechnik wünschenswert
    • Engagierte und kreative Arbeitsweise

     

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Robin Basten.

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  • Variable Themen im Bereich Sensorik, Elektronik, Simulation, Big Data, Künstliche Intelligenz möglich

    Du bist an spannenden und innovativen Projekte im Kontext neuartiger Sensorik, der Elektronikentwicklung, Datenerfassung und künstlichen Intelligenz interessierst?

    Du suchst eine Abschlussarbeit mit langfristigen Entwicklungschancen, auch in Richtung Promotion?

    Dich faszinieren diese möglichen Aufgabengebiete:

    Sensordatenfusion und -vorverarbeitung, Edge-Computing, Datenerfassung, Elektronikentwicklung, Datenmanagement, KI, Sensorentwicklung, Internetof- Things, Python, AWS, Data Warehouse, SQL-Datenbanken, Data Mining, Matlab® & Simulink®, ANSYS®, smarte Sensoren, Hardwareentwicklung, neue Sensorkonzepte, FPGA, Softwaresensorik, Simulation, algorithmische Optimierungsverfahren, Partikelschwarmoptimierung, Greedy-Algorithmen, digitaler Zwilling, Deep Learning, Data Science, Big Data, EAGLE, Embedded Systems

    Dann melde dich bei Daniel Klaas und werde Teil eines jungen und motivierten Teams. Wir sind an einer langfristigen Zusammenarbeit interessiert und bieten dir die Möglichkeit, im Rahmen von spannenden Forschungs- und Industrieprojekten dein Wissen und deine Fähigkeiten anzuwenden und weiterzuentwickeln.

    Voraussetzungen: Interessierte, selbstständige Studierende der Studiengänge Maschinenbau, Elektrotechnik, Mechatronik, Informationstechnik, (Technische) Informatik, Physik und vergleichbar

  • Herstellung und Charakterisierung von Feldemitterchips für den Einsatz in miniaturisierten Ionengetterpumpen

    Bachelorarbeit (ab sofort)

    Ein hoher Miniaturisierungs- und Integrationsgrad des Vakuumsystems führt nicht nur zur Verkleinerung des Gehäuses, sondern auch zur Vakuumperipherie in der entsprechenden Größenordnung. Das Ziel ist es, eine miniaturisierte Pumptechnik zu entwickeln, die für kompakte und transportable Quantenmesstechnik eingesetzt wird. Die durch das IMPT zu realisierende Pumptechnik beruht auf Si-Feldemittern, die mittels eines Trennschleifprozesses in Form von Spitzen hergestellt werden. Ziel dieser studentischen Arbeit ist die Herstellung eines Emitterchips, der aus einem Siliziumchip mit Emitter-Array und einer Glas-Extraktionselektrode besteht. Die Auslegung der Extraktionselektrode soll simulationsbasiert erfolgen. Abschließend ist das System zu charakterisieren.

    Voraussetzungen sind: 

    • selbstständige, strukturierte, zielorientierte Arbeitsweise
    • Interesse an Mikrosystemtechnik, Spaß am praktischen Arbeiten

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Aleksandra Zawacka.

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  • Entwicklung eines hochpräzisen Pick-and-Place Prozesses zur Fügung von Mikrowerkzeugen

    Masterarbeit (ab 01.09. - 28.02.2023)

    Im Rahmen eines Forschungsprojekts werden Mikrofräser entwickelt. Diese sind zweiteilig aufgebaut und bestehen aus einem Werkzeugschaft und einem Werkzeugkopf. Für präzise Bearbeitungen müssen die beiden Teile höchstgenau zusammengebracht und gefügt werden.
    Innerhalb dieser Arbeit soll daher in Kooperation mit dem Institut für Montagetechnik ein Fügeprozess an einer Pick-and-Place Maschine entwickelt werden. Hierzu werden die Geometrien der Werkzeugköpfe und des Werkzeugschaftes vorgegeben und der Maschine soll über ein selbst entwickeltes Programm beigebracht werden, sowohl Klebstoffverteilung, Platzierung und Aushärtung des Klebstoffs automatisch durchzuführen. Bewertet und optimiert werden soll dieser Prozess hinsichtlich der Platziergenauigkeit, benötigten Zeit und möglicher Fehlerquellen.

    Weitere Informationen können auf Anfrage gerne geteilt werden.

    Voraussetzungen sind: Kenntnisse in der Präzisionsmontage und mit Programmiersprachen

    Besuchte Lehrveranstaltung: Präzisionsmontage

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Lukas Steinhoff.

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  • Prozessuntersuchung partikelgefüllter Sinterpasten zur Optimierung eines Fügeverfahrens

    Bachelor-/ Studienarbeit (ab sofort)

    Das Verfahren des Silberverbindungssinterns ist ein Fügeverfahren für Hochleistungselektronikkomponenten. Die Vorteile des Porzesses liegen v.a. in der höheren elektrischen und thermischen Leitfähigkeit sowie der höheren mechanischen Festigkeit im Vergleich zur konventionellen Aufbau- und Verbindungstechnik. Durch die Zugabe geeigneter niedrigschmelzender mikroskaliger Legierungselemente sollen eutektische Legierungen gebildet und so die Prozesstemperatur deutlich gesenkt werden.

    In vorherigen Untersuchungen konnte ein Zusammenhang zwischen der Schwerfestigkeit und der Prozesstemperatur in Abhängigkeit des Füllstoffgehalts beobachtet werden. Im Rahmen dieser Arbeit sollen verschiedene Füllstoffgehalte sowie Prozessparamter untersucht werden um diese Abhängigkeiten zu verifizieren.

    Voraussetzungen sind: Interesse an Mikrotechnologie & Aufbau- und Verbindungstechnik

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Steffen Hadeler.

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  • Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung miniaturisierter Federkontaktsystems für ultrakalte Quantenexperimente auf Basis von pulverbasiertem Laserstrahlschmelzen

    Masterarbeit (ab sofort)

    Grundlage für die technische Betriebsfähigkeit der Quantenexperimente (Ionenfallentechnologie) bildet ultrakalte Materie, die im Rahmen einer magneto-optischen Falle (MOT) u.a. mittels Kryotechnik erzeugt wird. Das zentrale Elemente dieser Quantenexperimente bildet der Quantensensor, der mittels einer Quantenprozessoreinheit (QPU) in einem Rezipienten mit Peripherie integriert wird. Diese QPU besteht aus einem Befestigungsrahmen und einem Sockel mit integrierten elektro-mechanischen Bauteilen, die eine reproduzierbare Befestigung und Kontaktierung des Quantensensors gewährleisten. Für ein vollintegriertes, kompaktes Quantensystem sollen diese Bauteile weiterentwickelt, auf Basis des pulverbasierten Laser-strahlschmelzens (LPBF) gefertigt und unter kryogenen Bedingungen charakterisiert werden.

    Voraussetzungen sind:

    • Grundlagen technische Mechanik und Mikrotechnologie
    • Strukturierte und zielorientierte Arbeitsweise
    • Lebenslauf und Notenspiegel

    Senden Sie mir bitte Ihre vollständigen Bewerbungsunterlagen per Mail (nur von ihrer Studentenemailadresse) an Leonard Diekmann.

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  • Entwicklung und Charakterisierung eines hermetischen Bonds für die Herstellung von miniaturisierten Atomgaszellen

    Masterarbeit (6 Monate/ab sofort)

    Eine Atomgaszelle ist die Kernkomponente in vielen verschiedenen Quantensensoren. Hierzu gehören unter anderen Atomuhren oder optisch gepumpte Magnetometer. Für diese Zellen ist die hermetische Verbindung zweier Komponenten zwingend erforderlich. Dies verhindert den Gasaustausch mit der Umgebung, sowie die Kontamination im Inneren der Zelle. Dadurch können die Zusammensetzung und der Druck der Atmosphäre in der Zelle genau gesteuert werden. Die Herstellung der Atomgaszellen soll dabei mit mikrotechnologischen Fertigungsverfahren erfolgen, indem ein strukturierter Siliziumchip mit einem Glaschip hermetisch gebondet wird. Ziel dieser studentischen Arbeit ist die Entwicklung eines reproduzierbaren, hermetischen Bonds zwischen Glas und Silizium für die Herstellung einer solchen Atomgaszelle, sowie die Charakterisierung der Hermetizität dieser Verbindung.

    Voraussetzungen sind:

    • selbstständige, strukturierte, zielorientierte Arbeistweise
    • Interesse an Mikrosystemtechnik

     

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (stud.uni-hannover.de) an Jannik Koch.

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  • Herstellung und Kontaktierung eines hochtemperatur Messaufbaus in der Strangpressmatrize

    Bachelor/Studien/Masterarbeit (6 Monate/ab sofort)

    Hohe Betriebstemperaturen sind allgegenwärtig: Sie sind in Antriebseinheiten, in industriellen Produktionsprozessen, wie der Warmverformung und der maschinellen Bearbeitung zu finden. Um optimale Produktionsergebnisse zu erzielen, werden daher bei den meisten Produktionsprozessen Messungen der Werkzeugtemperatur durchgeführt. Auch beim Strangpressen ist eine präzise Temperaturerfassung notwendig um sowohl die Maßhaltigkeit der Endprodukte als auch deren mechanische Eigenschaften und Spezifikationen zu kontrollieren und sicher zu stellen. Ziel dieser Arbeit ist es, eine Prozesskette zur Herstellung eines Integrationskonzeptes für eine Temperaturmessung nahe der Umformzone beim Strangpressen zu entwickeln, die Hochtemperaturkontaktierung zu realisieren und das Einsatzverhalten, sowie die Anwendbarkeit zu evaluieren

    Voraussetzungen:

    Kenntnisse in Konstruktion, engagierte und kreative Arbeitsweise. Idealerweise besuchte Lehrveranstaltungen: Mikrotechniklabor

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (stud.uni-hannover.de) an Selina Raumel

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  • Evaluation und Optimierung eines PECVD-Prozesses zur Fertigung von Isolationsschichten aus Si3N4 und SiO2

    Bachelor/Studien/Masterarbeit (6 Monate/ab sofort)

    Das Forschungsprojekt KACTUS II verfolgt das Ziel, die Atomchiptechnologie in eine neue Generation zu überführen und diese um weitere Funktionen zu ergänzen. Hierbei ist die Auswahl geeigneter Materialien und Fertigungsprozesse entscheidend, sodass ein schnelleres Schaltverhalten sowie bessere Vakuumeigenschaften erzielt werden können. Die zunehmende Funktionalisierung und Erweiterung der Integrationsdichte ermöglicht die weitere Miniaturisierung der Atomchips sowie des Gesamtaufbaus, um den Technologieeinsatz in kommerziellen Anwendungen zu ermöglichen. Für die Erweiterung der Integrationsdichte sowie zur Erhöhung der Belastbarkeit der stromführenden Strukturen der Atomchips sind entsprechende Isolationsschichten unerlässlich. Daher ist im Rahmen dieser Arbeit ein PECVD Prozess zu untersuchen und anzupassen, um die Eigenschaften der Isolationsschichten gezielt einstellen zu können. Abschließend ist der Prozess in die Fertigungskette der Atomchips zu integrieren

    Voraussetzungen:

    Selbständige, strukturierte, eigenverantwortliche Arbeitsweise; Interesse an Mikrosystemtechnik; Spaß an praktischer Tätigkeit, Bereitschaft zur Reinraumtätigkeit

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (stud.uni-hannover.de) an Christoph Künzler.

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  • Zusammenfassung des aktuellen Forschungsstandes im Bereich der Atomchiptechnologie (Literaturrecherche)

    Bachelor/- Studienarbeit (6 Monate/ab sofort)

    Das Forschungsprojekt KACTUS II verfolgt das Ziel, die Atomchiptechnologie in eine neue Generation zu überführen und diese um weitere Funktionen zu ergänzen. Hierbei ist die Auswahl geeigneter Materialien und Fertigungsprozesse entscheidend, sodass ein schnelleres Schaltverhalten sowie bessere Vakuumeigenschaften erzielt werden können. Die zunehmende Funktionalisierung und Erweiterung der Integrationsdichte ermöglicht die weitere Miniaturisierung der Atomchips sowie des Gesamtaufbaus, um den Technologieeinsatz in kommerziellen Anwendungen zu ermöglichen.

    Mit dieser Arbeit soll der aktuelle Forschungsstand im Bereich der Atomchiptechnologie abgebildet und neue Entwicklungen aufgezeigt werden. Dabei sind sowohl die Miniaturisierungen der peripheren Aufbauten als auch die Fertigungstechnologien für Atomchips zu betrachten. Dies erfolgt auf Grundlage einer entsprechenden Literaturrecherche.

    Voraussetzungen:

    Selbständige, strukturierte, eigenverantwortliche Arbeitsweise; Sehr gute Englischkenntnisse; Spaß daran, sich wissenschaftlichen Fragestellungen theoretisch zu nähern

    Senden Sie Ihre aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen per Mail (stud.uni-hannover.de) an Christoph Künzler.

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Themengebiete und Initiativbewerbungen

Wir bieten überwiegend Themen aus den zwei Bereichen Dünnfilmtechnik und Mechanische Mikrobearbeitung und Tribologie an. Diese Bereiche sind im Folgenden etwas näher beschrieben, bei Fragen zu den Themen wenden Sie sich bitte an die angegebenen Kontakte. Haben Sie eine Idee oder interessieren Sie sich für ein bestimmtes Thema und möchten dazu eine Arbeit schreiben? Wir sind immer offen dafür, Themen mit Studenten auszuarbeiten und freuen uns über Initiativbewerbungen!

Dünnfilmtechnik

Der Bereich der Dünnfiltechnik des IMPT umfasst den Entwurf und die Fertigung von Mikrosystemen/MEMS (Sensoren, Aktoren). Der den meisten dieser Systeme zugrundeliegende Effekt ist hierbei der Elektromagnetismus.

  • Entwurf

    Der Entwurf der Systeme erfolgt im Groben durch analytische und netzwerkbasierte Methoden. Der Feinentwurf wird im Anschluss daran unter Verwendung von FEM-Simulationen durchgeführt. Hierfür steht das Multiphysik-Simulationstool ANSYS® zur Verfügung, womit Simulationen z.B. in den Bereichen der Strukturmechanik und der Elektromagnetik sowie thermische und fluiddynamische Simulationen durchgeführt werden können. 

  • Aktorik

    Die am IMPT hergestellten Aktoren nutzen Magnetfelder, um Bewegungen zu erzeugen. Die Aktoren können dabei je nach Funktionsprinzip z.B. in Synchron-, (Variabel) Reluktanz- und Hybridaktoren unterschieden werden. Es werden sowohl lineare und rotierende Mikromotoren hergestellt, als auch die Nutzung dieser magnetischen Miroaktoren z.B. im Bereich der Mikrooptik, der Manipulation von magnetischen Nanopartikeln und der Implantologie untersucht.

  • Sensorik

    Neben Sensoren, die auf Basis von elektromagnetischen Prinzipien beruhen, wie z.B. Wirbelstromsensoren, Dehnungssensoren und GMR-Sensoren (ultradünn, für Hochtemperaturanwendungen) wird am IMPT im Bereich modularer Sensoren für gentelligente Anwendungen geforscht, was unter anderem auch Temperatursensoren umfasst.

  • Fertigung

    Für die Herstellung der Mikroaktoren und -sensoren wird für gewöhnlich eine Kombination aus Fotolithografie und galvanischer Abscheidung genutzt. Mittels Fotolithografie wird auf Si- oder Al2O3-Substraten eine temporäre Form aus Fotoresist erzeugt und diese durch galvanische Abscheidung mit Funktionswerkstoffen gefüllt. Als Funktionswerkstoffe werden Cu für Spulen und Zuleitungen genutzt. Für Flussführungen kommen NiFe45/55, NiFe81/19, CoFe und Ni zum Einsatz. Ferner wird das Epoxidharz SU-8™ und Polyimid als Einbettungsmaterial und Material für Membranen eingesetzt. Als Isolation werden Schichten aus Si3N4 und SiO2 verwendet, die mitels PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) hergestellt werden. Zur Strukturierung werden zusätzlich Ionenstrahlätzen und Lift-off angewendet. Die Herstellung von mechanischen Komponenten (Membranen, Biegebalken, Federstrukturen...) erfolgt durch die Kombination von Fotolithografie und Ätzprozessen. Hierfür stehen Trockenätzprozesse (z.B. DRIE, Plasma) sowie nasschemische Ätzprozesse (z.B. KOH, HF) zur Verfügung.

Studentische Arbeiten aus diesem Bereich können folgende Schwerpunkte haben:

  • Die Fertigung und Charakterisierung von Mikrosystemen
  • Die Entwicklung und Optimierung von Fertigungsprozessen
  • Schichtcharakterisierungen
  • Werkstoffuntersuchungen
© IMPT / Fischer
Alexander Kassner, M. Sc.
Leitung
Adresse
An der Universität 2
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
107
© IMPT / Fischer
Alexander Kassner, M. Sc.
Leitung
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Mechanische Mikrobearbeitung und Tribologie

  • Mechanische Mikrobearbeitung

    Im Bereich der mechanischen Mikrobearbeitung kommen unterschiedliche Verfahren zum Einsatz. Zum einen werden Trenn- und Profilschleifverfahren zum hochpräzisen Vereinzeln und Profilieren von Mikrobauteilen aus Keramik, Glas und Silizium durchgeführt. Zum anderen erfolgen Nanoschleif- und Läppprozesse zur hochpräzisen Oberflächenbearbeitung von sprödharten Materialien sowie der Erstellung von Schliffbildern. Des Weiteren werden Prozesse zur Fertigung von Oberflächen mit hoher Qualitätsgüte sowie die Planarisierung von  Waferoberflächen aus Werkstoffkombinationen durch Polieren und chemisch-mechanisches Polieren (CMP) durchgeführt.

  • Mikrotribologie

    Im Bereich der Mikrotribologie werden z.B. Verschleißuntersuchungen an einem rotatorischem Verschleißmessstand nach dem Pin-on-Disk-Verfahren für flächigen Mikrokontakt durchgeführt. Weiterhin erfolgen Untersuchungen zur Mikrohärte und E-Modul sowie der Darstellung von (Haft-)Reibung dünner Schichten mittels Nanoindentation und Ritzuntersuchungen. Eine Ermittlung von Bruchfestigkeiten von Schichten erfolgt mittels Acoustic Emission. Zusätzlich werden Analysen von Reibkräften im Mikrokontakt durchgeführ.

Studentische Arbeiten aus diesem Bereich können folgende Schwerpunkte haben:

  • Erzeugung hochgenauer Kanten und Mikroprofile
  • Optimierung eines Waferhalterwerkzeugs für chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
  • Fügen von Mikrobauteilen mittels Löten, eutektischem und anodischem Bonden
  • Untersuchungen und Charakterisierung tribologischer Beschichtungen
© IMPT / Fischer
Rico Ottermann, M. Sc.
Leitung
Adresse
An der Universität 2
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
127
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Rico Ottermann, M. Sc.
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An der Universität 2
30823 Garbsen
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127