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Unser Hauptaugenmerk der Forschungsaktivitäten liegt im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Dabei liegen die Kernkompetenzen des Instituts in der Dünnfilmtechnologie, Strukturierungstechnologie, der Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie der mechanischen Bearbeitung und Charakterisierung von MEMS und MEMS Materialien.

Aktuelles

Unser Ziel: Hochleistungsoptik für eine Massenfertigung

52 Millionen Euro Fördergeld von Bund und Land erhält der Exzellenzcluster PhoenixD (Photonics Optics Engineering - Innovation Across Disciplines). Wofür die rund 110 Forschenden das Geld nutzen, berichten die Vorstände Professor Dr. Uwe Morgner und Professor Dr.-Ing. Ludger Overmeyer.

Mehr dazu erfahren Sie auf der Website zur aktuellen Ausgabe der Phi.