Auf unserem YouTube-Kanal bieten wir Einblicke in unsere Forschung. Diesmal zum Thema: Charakterisierung von direktabgeschiedenen Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen; vorgestellt von Rico Ottermann.
Im Rahmen verschiedener Forschungsprojekte mit Industriepartnern werden anwendungsspezifische Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen (DMS) entwickelt. Ihre Herstellung geschieht in einem Vakuumbeschichtungsprozess (Sputtern). Anschließend folgt die hier vorgestellte Charakterisierung der resistiven Sensoren hinsichtlich ihrer elektrischen und mechanischen Eigenschaften sowie ihrer Temperaturempfindlichkeit. Die wichtigste Größe ist dabei der k-Faktor, der die Dehnungsempfindlichkeit wiedergibt. So kann dem elektrischen Messsignal die physikalische Messgröße zugeordnet werden.
