Unser Hauptaugenmerk der Forschungsaktivitäten liegt im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Dabei liegen die Kernkompetenzen des Instituts in der Dünnfilmtechnologie, Strukturierungstechnologie, der Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie der mechanischen Bearbeitung und Charakterisierung von MEMS und MEMS Materialien.
Am 19.05.2022 hielt Dennis Kundrat seinen Promotionsvortrag am imes und absolvierte die mündliche Prüfung. Allen anwesenden vielen Dank für die Teilnahme.
Wir freuen uns Herrn Kundrat zur bestandenen Abschlussprüfung gratulieren zu können und wünschen ihm für die Zukunft viel Erfolg!
Letzte Änderung: 25.02.25
