The Application of Chemical-Mechanical Polishing for Planarizing a SU-8/Permalloy Combination Used in MEMS Devices
Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
Jahr | 2003 |
Autoren | C. Kourouklis, T. Kohlmeier, H.H. Gatzen |
Veröffentlicht in | Sensors & Actuators A: Physical, Vol. 106, No. 1-3, pp. 268-271 |