Challenges in Using Photosensitive Embedding Material to Planarize Multi-layer Coils for Actuator Systems
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
| Jahr | 2002 |
| Autorinnen/Autoren | T. Kohlmeier, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Journal of Magnetism and Magn. Mat., Vol. 242-245, pp. 1149-1152 |
