Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Concept for a Wafer Level Test System for Measuring Magnetic Film Properties

Concept for a Wafer Level Test System for Measuring Magnetic Film Properties

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2006
Autorinnen/Autoren D. Dinulovic, E. Flick, H. Gerdes, K. Feindt, M. Eccarius, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in 210th Meet. of The Electrochemical Society 2006, Cancun, Mexico