Tribologie von MEMS-Komponenten
| Kategorien |
Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2005 |
| Autorinnen/Autoren | R. Bandorf, R. Küster, C. Henke, H. Lüthje, J.-H. Sick, C. Neumeister, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer |
| Veröffentlicht in | SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Deutschland, S. 225-232, ISBN3-86130-999-8 |