Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Design and fabrication of an inductive micro position sensor

Design and fabrication of an inductive micro position sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autorinnen/Autoren D. Dinulovic, T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Statusseminare BMBF-Verbundvorhaben, Microtec, München, S. 295-300