Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2015 |
| Autorinnen/Autoren | M. Kaiser, M. Rechel, J. Goldmann, L. Rissing, M. C. Wurz |
| Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2015), Karlsruhe, Deutschland, VDE Verlag GmbH – Berlin – Offenbach, S. 606-609 |
| ISBN | 978-3-8007-4100-7 |
