Direct hot embossing of micro-elements by means of photostructurable polyimide
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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
| Jahr | 2016 |
| Autorinnen/Autoren | M. Akin, M. Rezem, M. Rahlves, K. Cromwell, B. Roth, E. Reithmeier, M. Wurz, L. Rissing, H.-J. Maier |
| Veröffentlicht in | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) |
