Electroplating through Fluidic Channels as Production Technology for 3D Interconnect Devices and Sensing Structures
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Jahr | 2016 |
Autorinnen/Autoren | Rechel M, Bengsch S, Wurz MC |
Veröffentlicht in | ECS Transactions. 2016 volume 75, issue 7, 25-32 |
DOI | 10.1149/07507.0025ecst |
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