Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Kategorien Konferenz
Jahr 2017
Autorinnen/Autoren Klaas D, Pehrs F, Wurz MC
Veröffentlicht in Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683
ISBN 978-3-8007-4491-6
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