Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT

Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT

Kategorien Verschiedenes
Jahr 2023
Autoren A. Buchta
Veröffentlicht in phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 38 / März 2023
Beschreibung

IMPT | Miniaturisierte Ionengetterpumpen für den Einsatz in kompakter und transportabler Quantenmesstechnik entwickeln Wissenschaftler:innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover derzeit in Kooperation mit der Firma LPKF.

DOI https://doi.org/10.48811/phi-23-001