Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT
Kategorien |
Verschiedenes |
Jahr | 2023 |
Autoren | A. Buchta |
Veröffentlicht in | phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Newsletter Nr. 38 / März 2023 |
Beschreibung
IMPT | Miniaturisierte Ionengetterpumpen für den Einsatz in kompakter und transportabler Quantenmesstechnik entwickeln Wissenschaftler:innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover derzeit in Kooperation mit der Firma LPKF.
DOI | https://doi.org/10.48811/phi-23-001 |