Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina
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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
| Jahr | 2022 |
| Autorinnen/Autoren | L. Diekmann, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz |
| Veröffentlicht in | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| DOI | 10.1116/6.0001991 |
