Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
| Jahr | 2022 |
| Autoren | L. Diekmann, A. Kassner, F. Dencker, M. Wurz |
| Veröffentlicht in | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| DOI | 10.1116/6.0001991 |
