Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Micromechanical, rotating device with a magnetic drive and method for the production thereof

Micromechanical, rotating device with a magnetic drive and method for the production thereof

Kategorien Patentschriften
Jahr 2000
Autoren H.-H. Gatzen
Veröffentlicht in WO 0247241 A1