Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Investigations on the Wear Profile of Dicing Wheels

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autoren C. Morsbach, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. ASPE 14th Ann. Meet. 1999, Monterey, CA, USA, pp. 67-70