Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Dual Stripe Sensor on a Picoslider for In-Contact Thermal Asperity Testing

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 1998
Autoren H.H. Gatzen, M.S. Schwabe
Veröffentlicht in IEEE Trans. on Magn., Vol. 34, No. 4, pp. 1702-1704