Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Precision Engineering Requirements in Magnetic Memory Disc File Systems

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1997
Autoren H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Invited paper, Proc. 9th Precision Engineering Seminar 1997, Braunschweig