Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

A batch fabricated linear synchronous motor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren M. Föhse, J. Edler, H.D. Stölting, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. Int. Mech. Eng. Congr. and Expo IMECE 2003, Washington D.C., USA, pp. 1-8