Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Technologien für Mikromotoren

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Invited paper, Proc. MTT 2002, Erfurt, S. 37-41