ForschungPublikationen
Thinfilm Technologies to Fabricate a Linear Microactuator

Thinfilm Technologies to Fabricate a Linear Microactuator

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2001
Autoren M. Föhse, T. Kohlmeier, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Sensors and Actuators A91, No. 1-2, pp. 145-149