Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Investigations on the Tool Plate Preparation for Nanogrinding

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2000
Autoren H.H. Gatzen, H. Siekmann
Veröffentlicht in Proc. ASPE 15th Ann. Meet. Scottsdale, AZ, USA, pp. 90-93