Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Investigations Regarding the Interdependence of Spindle Load and Machine Performance During Slicing

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren H.H. Gatzen, G.M Jones, C. Morsbach, G. Günzel, A. Karyazin
Veröffentlicht in Proc. ASPE 18th Ann. Meet. 2003, Portland, Oregon, USA, pp. 435-438