Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Magnetic Levitation Assisted Guide for a Linear Microactuator

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2006
Autoren C. Ruffert, R. Gehrking, B. Ponick, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in IEEE Trans. on Magn., Vol. 42, No. 11, pp. 3785-3787