Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

An Investigation on Technologies to Fabricate Magnetic Microcomponents for Miniaturized Actuator Systems

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2004
Autoren T. Budde, M. Föhse, B. Majjer, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol.10, No. 3, pp. 237-240