An Investigation on Technologies to Fabricate Magnetic Microcomponents for Miniaturized Actuator Systems
Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
Jahr | 2004 |
Autoren | T. Budde, M. Föhse, B. Majjer, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen |
Veröffentlicht in | Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol.10, No. 3, pp. 237-240 |