Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Design and fabrication of an inductive micro position sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren D. Dinulovic, T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Statusseminare BMBF-Verbundvorhaben, Microtec, München, S. 295-300