Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Lesen und Schreiben magnetischer Daten

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2007
Autoren K.-H. Wu, O. Traisigkhachol, M. C. Wurz, H. H. Gatzen
Veröffentlicht in SFB653 Kolloquium, Hannovermesse 2007, Hannover, Deutschland, S. 63-68