Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Modulare, mehrfunktionale Mikrosensorik- Mikrosensoren für Kraft- und Dehnungsmessung

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2007
Autoren S. Hansen, H. Gerdes, H.-H. Gatzen
Veröffentlicht in SFB653 Kolloquium, Hannovermesse 2007, Hannover, Deutschland, S. 19-24