Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Stress, Friction and Life in Micro Actuator Contact Surfaces

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2007
Autoren F. Pape, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Leeds-Lyon Symposium on Tribology 2007, France