Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Combination of Mechanical Micromachining and Glass Bonding to Fabricate Robust Micro Structures for Painless Drug Delivery

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2007
Autoren K.-H. Wu, H.A. Adams, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. ASPE 22th Ann. Meet. 2007, Dallas, TX, USA, pp. 147-150