Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2007
Autoren M. Bedenbecker, R. Bandorf, G. Bräuer, H. Lüthje, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Kolloquium Mikroproduktion, Forschungzentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe, Deutschland, S. 159-164