Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Technology Development for Packaging of the GMR-Sensor via Eutectic Bonding

Fortschritte bei der Auslegung und Regelung aktiver Mikrosysteme

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2007
Autoren S. Demmig, R. Gehrking, M. Hahn, K. Wiedemann, B. Ponick, H.H. Gatzen, A. Mertens
Veröffentlicht in Kolloquium Mikroproduktion, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe, Deutschland, S. 171-178