ForschungPublikationen
Technical Progress in Designing and Controlling of Active Micro Systems

Technical Progress in Designing and Controlling of Active Micro Systems

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2008
Autoren S. Demmig, R. Gehrking, M. Hahn, K. Wiedmann, B. Ponick, H.H. Gatzen, A. Mertens
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 14, No. 12, pp. 1925-1931