ForschungPublikationen
Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen

Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2007
Autoren H.H. Gatzen, S. Cvetkovic
Veröffentlicht in SHLP 2007, Braunschweig, Deutschland, 63. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, Deutschland, S. 342-361