Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

ANKOM-Projekt "ProfIS" - Professional Improvement by Study in Engineering Sciences

Kategorien Verschiedenes
Jahr 2008
Autoren H.H. Gatzen, F. Pape, C. Ruffert
Veröffentlicht in HIS Hochschul-Informations-System GmbH, Forum Hochschule, ISSN 1863-5563, 13/2008, pp. 81-89