Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Herstellung eines Mikroaktors zur Anregung der Perilymphe bei Schwerhörigkeit

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren T. Creutzburg, S. Cvetkovic, L. Rissing
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011