Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Schleifscheibenkonditionierung mittels Laserstrahlung und kontaktlose Werkzeugüberwachung für die Ultrapräzisionsbearbeitung von spröd-harten Materialien

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2013
Autoren L. Rissing, U. Stute, M. Stompe, S. Cvetkovic, P. von Witzendorff
Veröffentlicht in Beitrag für 66. Ausgabe Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, 2013 (erschienen Nov. 13)
ISBN 9783802729713